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一種離子源束流穩(wěn)定性控制系統(tǒng)及方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201910644670.X
  • IPC分類號(hào):H05H7/00;H05H13/00
  • 申請(qǐng)日期:
    2019-07-17
  • 申請(qǐng)人:
    中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所
著錄項(xiàng)信息
專利名稱一種離子源束流穩(wěn)定性控制系統(tǒng)及方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201910644670.X申請(qǐng)日期2019-07-17
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家暫無(wú)
公開(kāi)/公告日2019-11-05公開(kāi)/公告號(hào)CN110418489A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)H05H7/00IPC分類號(hào)H;0;5;H;7;/;0;0;;;H;0;5;H;1;3;/;0;0查看分類表>
申請(qǐng)人中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所申請(qǐng)人地址
甘肅省蘭州市城關(guān)區(qū)南昌路509號(hào) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化,請(qǐng)及時(shí)變更,防止失效
權(quán)利人中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所當(dāng)前權(quán)利人中國(guó)科學(xué)院近代物理研究所
發(fā)明人郭玉輝;詹泰鑫;孫良亭;劉玉國(guó)
代理機(jī)構(gòu)北京紀(jì)凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人王胥慧
摘要
本發(fā)明涉及一種離子源束流穩(wěn)定性控制系統(tǒng)及方法,其特征在于,包括針閥、氣體流量計(jì)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、束診元件和控制系統(tǒng);所述針閥和氣體流量計(jì)依次設(shè)置在離子源氣源儲(chǔ)氣罐出氣口與ECR離子源進(jìn)氣口之間的管道上,所述針閥通過(guò)機(jī)械驅(qū)動(dòng)裝置連接所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端,所述針閥用于控制所述離子源氣源儲(chǔ)氣罐的出氣量,所述氣體流量計(jì)用于采集所述ECR離子源進(jìn)氣口處的氣體流量;所控制系統(tǒng)分別電連接所述氣體流量計(jì)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)和束診元件,所述束診元件用于測(cè)量所述ECR離子源的束流流強(qiáng),本發(fā)明可以廣泛應(yīng)用于離子源技術(shù)領(lǐng)域中。

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