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基板的翻轉(zhuǎn)設(shè)備

實(shí)用新型專利無效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201320279910.9
  • IPC分類號(hào):H01L21/67
  • 申請(qǐng)日期:
    2013-05-21
  • 申請(qǐng)人:
    帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱基板的翻轉(zhuǎn)設(shè)備
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201320279910.9申請(qǐng)日期2013-05-21
法律狀態(tài)權(quán)利終止申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開/公告日公開/公告號(hào)
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)H01L21/67IPC分類號(hào)H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分類表>
申請(qǐng)人帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司申請(qǐng)人地址
中國(guó)臺(tái)灣臺(tái)北市南港區(qū)園區(qū)街3-2號(hào)6樓 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化,請(qǐng)及時(shí)變更,防止失效
權(quán)利人帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人帆宣系統(tǒng)科技股份有限公司
發(fā)明人彭圣醮;程昭榮
代理機(jī)構(gòu)北京中博世達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司代理人王晶
摘要
本實(shí)用新型公開了一種基板的翻轉(zhuǎn)設(shè)備,包括由設(shè)備主體、籠狀架體、升降輸送單元以及夾持翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),夾持翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)設(shè)置于設(shè)備主體的主架體預(yù)定高度位置,當(dāng)升降輸送單元載送置入基板的籠狀架體上升至預(yù)定高度時(shí),夾持翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能夾持并帶動(dòng)籠狀架體翻轉(zhuǎn)一角度,使基板呈立置狀態(tài)后導(dǎo)送至后續(xù)加工流程處;當(dāng)籠狀架體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)的過程中,升降輸送單元先下降至一高度位置,待翻轉(zhuǎn)動(dòng)作完成再度上升承接籠狀架體;本實(shí)用新型通過夾持翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)籠狀架體進(jìn)行翻轉(zhuǎn)動(dòng)作,而能將多數(shù)組基板同時(shí)進(jìn)行翻轉(zhuǎn),以使每一組基板于加工前皆呈間隔立置狀態(tài),令后續(xù)進(jìn)行加工時(shí)各基板表面加工程度皆能均勻一致,達(dá)到快速、節(jié)省人力以及提升加工效果、加工效率的目的。

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