用于真空泵的雙壁排氣管組件及其重新構(gòu)造方法

1.一種雙壁排氣管組件(28)，包括：
一第一端固定頭(86)；
一第二端固定頭(88)；
一內(nèi)管(84)，具有與所述第一端固定頭的內(nèi)安裝區(qū)段(100)的外表面接合的 第一端(96)和與所述第二端固定頭的內(nèi)安裝區(qū)段(106)的外表面接合的第二端 (98)；
一外管(82)，包圍所述內(nèi)管(84)，并具有與所述第一端固定頭的外安裝區(qū) 段(112)的外表面接合的第一端和與所述第二端固定頭的外安裝區(qū)段(114)的外 表面接合的第二端。
2.如權(quán)利要求1所述的雙壁排氣管組件(28)，其特征在于：所述的內(nèi)管(84) 具有延伸至其基本區(qū)段長(zhǎng)度的整個(gè)內(nèi)波紋表面，所述波紋表面具有向所述內(nèi)管 的軸(87)傾斜的多個(gè)表面(94)。
3.如權(quán)利要求2所述的雙壁排氣管組件(28)，其特征在于：所述內(nèi)管(84) 和外管(82)均由絕緣材料制成。
4.如權(quán)利要求3所述的雙壁排氣管組件(28)，其特征在于：所述內(nèi)管(84) 和外管(82)均由聚四氟乙烯制成。
5.如權(quán)利要求3所述的雙壁排氣管組件(28)，其特征在于：所述第一和第 二端固定頭包括用于將所述內(nèi)管連接到其上的環(huán)形隆起(102、108)。
6.如權(quán)利要求3所述的雙壁排氣管組件(28)，其特征在于：進(jìn)一步包括一 第一密封件(116)，裝在所述外管的所述第一端和所述第一端固定頭(86)的所述 外安裝區(qū)段(112)之間；一第二密封件(120)，裝在所述外管的所述第二端和所述 第二端固定頭(88)的所述外安裝區(qū)段(114)之間。
7.一種離子注入系統(tǒng)(10)，包括：
一端部(12)，包括一高壓護(hù)罩(20)，至少部分遮蓋(i)產(chǎn)生離子束(29)的離子 源(24)，(ii)傳輸該離子束的束導(dǎo)管(14)，以及(iii)對(duì)該束導(dǎo)管抽真空的真空泵 (36)；
一接地外殼(18)，包圍所述高壓護(hù)罩(20)；
一絕緣的排氣管組件(28)，連接在接地外殼(18)和所述高壓護(hù)罩(20)之間， 所述組件包括(i)一第一端固定頭(86)；(ii)一第二端固定頭(88)；(iii)一內(nèi)管(84)， 具有與所述第一端固定頭的內(nèi)安裝區(qū)段(100)的外表面接合的第一端(96)和與所 述第二端固定頭的內(nèi)安裝區(qū)段(106)的外表面接合的第二端(98)；及(iv)一外管 (82)，包圍所述內(nèi)管(84)，內(nèi)管(84)具有與所述第一端固定頭的外安裝區(qū)段(112) 的外表面接合的第一端和與所述第二端固定頭的外安裝區(qū)段(114)的外表面接 合的第二端。
8.如權(quán)利要求7所述的離子注入系統(tǒng)(10)，其特征在于所述內(nèi)管(84)具有 延伸至其基本區(qū)段長(zhǎng)度的內(nèi)波紋表面，所述波紋表面包括向所述內(nèi)管的軸線(87) 傾斜的多個(gè)表面(94)。
9.如權(quán)利要求8所述的離子注入系統(tǒng)(10)，其特征在于：所述內(nèi)、外管(84、 82)均由聚四氟乙烯制成。
10.如權(quán)利要求8所述的離子注入系統(tǒng)(10)，其特征在于：所述第一和第二 端固定頭包括用于將所述內(nèi)管連接到其上的環(huán)形隆起(102、108)。
11.如權(quán)利要求8所述的離子注入系統(tǒng)(10)，其特征在于：進(jìn)一步包括一第 一密封件(116)，裝在所述外管的所述第一端和所述第一端固定頭(86)的所述外 安裝區(qū)段(112)之間；一第二密封件(120)，裝在所述外管的所述第二端和所述第 二端固定頭(88)的所述外安裝區(qū)段(114)之間。
12.一種重新構(gòu)造雙壁排氣管組件(28)的方法，該排氣管組件包括(i)一個(gè)一 次性使用的內(nèi)管(84)，具有與所述第一端固定頭(86)的內(nèi)安裝區(qū)段(100)的外表面 接合的第一端(96)和與所述第二端固定頭(88)的內(nèi)安裝區(qū)段(106)的外表面接合 的第二端(98)；及(ii)一外管(82)，具有與所述第一端固定頭的外安裝區(qū)段(112) 的外表面接合的第一端和與所述第二端固定頭的外安裝區(qū)段(114)的外表面接 合的第二端，所述方法包括以下步驟：
將所述外管(82)與所述第一和第二端固定頭(86、88)的所述外安裝區(qū)段 (112、114)的外表面分離；
將所述一次性使用的內(nèi)管(84)與所述第一和第二端固定頭(86、88)的所述內(nèi) 安裝區(qū)段(100、106)的外表面分離；
用替換內(nèi)管取代該一次性使用的內(nèi)管，將所述替換內(nèi)管與所述第一和第二 端固定頭(86、88)的所述內(nèi)安裝區(qū)段(100、106)的外表面接合；以及
重新將所述外管與所述第一和第二端固定頭(86、88)的所述外安裝區(qū)段 (112、114)的外表面接合。
13.如權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于：所述替換內(nèi)管(84)具有在其 整個(gè)長(zhǎng)度段內(nèi)延伸的內(nèi)波紋表面，所述波紋表面包括向所述替換內(nèi)管的軸(87) 傾斜的多個(gè)表面(94)。
14.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于：所述替換內(nèi)管(84)由聚四氟 乙烯制成。
15.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于：所述第一和第二端固定頭包 括用于將所述內(nèi)管連接到其上的環(huán)形隆起(102、108)。
16.如權(quán)利要求13所述的方法，其特征在于：進(jìn)一步包括由所述外管和第 一、第二端固定頭(86、88)形成的密封接合步驟：在所述外管的所述第一端和 所述第一端固定頭(86)的所述外安裝區(qū)段(112)之間安裝一第一密封件(116)；及 (ii)在所述外管的第二端和所述第二端固定頭(88)的所述外安裝區(qū)段(114)之間安 裝一第二密封件(120)。

技術(shù)領(lǐng)域\n本發(fā)明涉及離子注入器領(lǐng)域，特別涉及一種改進(jìn)的與離子注入器內(nèi)真空泵一 起使用的排氣管道。\n背景技術(shù)\n在大規(guī)模的集成電路制造中，離子注入已經(jīng)成為工業(yè)上用雜質(zhì)摻雜半導(dǎo)體優(yōu) 先采用的技術(shù)。典型離子注入器包括三部分或部件：(i)一端部，包括一產(chǎn)生具有 理想電荷和能量的離子束的離子源區(qū)，(ii)一包含要注入離子束的半導(dǎo)體晶片的目 標(biāo)室，及(iii)一束管總成，位于端部和目標(biāo)室之間，調(diào)節(jié)由離子源輸出的離子束并 使離子束直射向目標(biāo)晶片。\n整個(gè)離子注入過程在一真空泵內(nèi)進(jìn)行，以保證穩(wěn)定注入和防出粒子沾染。采 用高真空泵的目的就在于此。通常，離子源區(qū)、束管總成和目標(biāo)室各采用獨(dú)立的 高真空泵。在目標(biāo)室的區(qū)域內(nèi)，在將晶片插入目標(biāo)室和由目標(biāo)室抽出晶片時(shí)，采 用加載鎖定，以避免對(duì)目標(biāo)室的反復(fù)加壓和泄壓。\n與離子注入器相連的用于抽空離子注入器相應(yīng)區(qū)域的真空系統(tǒng)必須排空這些 區(qū)域的空氣。為了安全并防止沾染，排出的氣體一般排入離子注入器外殼以外的 環(huán)境中。\n端部必須加高電壓，以便于離子由離子源射出并直射向目標(biāo)室。通常，電壓 范圍是80,000至100,000伏(80-100千伏)。但是，為了安全起見，離子注入器 的外殼是接地的。因此，通過真空泵從離子源區(qū)抽出的空氣必須由加高電壓的端 部排出，通過接地外殼進(jìn)入外界環(huán)境。\n通常，有一排氣管連接到離子源真空泵上，以排出由離子源區(qū)抽出的氣體。 該排氣管由離子源區(qū)真空泵伸出，通過高壓端護(hù)罩，并通過接地外殼到達(dá)外界環(huán) 境。高壓端護(hù)罩和接地外殼之間的排氣管部分必須由不導(dǎo)電絕緣材料制成，以防 止高壓端護(hù)罩和接地外殼之間導(dǎo)電。\n在離子注入器的持續(xù)工作過程中，離子源真空排氣管的內(nèi)壁沾染了離子源過 程中的殘積物和其他在對(duì)離子源區(qū)抽真空時(shí)抽出的浮在空氣中的物質(zhì)。沾染物特 別是碳?xì)浠衔锏亩逊e，最終會(huì)降低不導(dǎo)電管的絕緣性，至使由電極端向地漏電， 或更糟糕的是，由于電極端與外殼之間打火而產(chǎn)生高壓放電。為防止這樣的現(xiàn)象 發(fā)生，必須清理或更換該管以恢復(fù)系統(tǒng)的完整性。由于清理該管費(fèi)時(shí)，且會(huì)增大 暴露摻雜物的危險(xiǎn)，因此一般對(duì)管進(jìn)行更換。\n發(fā)明內(nèi)容\n因此，本發(fā)明的目的在于提供一種改進(jìn)的用于離子注入器內(nèi)的排氣管，便于 保證其持續(xù)的電絕緣性。\n本發(fā)明進(jìn)一步的發(fā)明目的在于提供一用于離子注入器內(nèi)的排氣管組件，其構(gòu) 造更經(jīng)濟(jì)實(shí)用，具有一耐久的重復(fù)使用的外管和一價(jià)廉的可更換的且一次性使用 的內(nèi)管。該內(nèi)管具有盛裝摻雜物的裝置，且具有波紋外形以延長(zhǎng)漏電或飛弧的路 徑，與非波紋外形相比則延長(zhǎng)了需維修(更換)的時(shí)間間隔。\n本發(fā)明的另一目的在于提供一具有雙壁結(jié)構(gòu)的排氣管組件，以利于保持整體 的不導(dǎo)電性，并使其內(nèi)的摻雜物堆積降至最小程度。\n本發(fā)明的再一目的在于提供一種雙壁排氣管組件，其中盛裝摻雜物的波紋內(nèi) 管管壁與更耐用的外管相比要薄，在內(nèi)管擊穿時(shí)，外管形成有效的密封容器。\n一種雙壁排氣管組件，用于離子注入器系統(tǒng)，以連接處于不同電勢(shì)的系統(tǒng)部 件。該組件包括一內(nèi)管，具有與第一端固定頭的內(nèi)安裝區(qū)段的外表面接合的第一 端和與第二端固定頭的內(nèi)安裝區(qū)段的外表面接合的第二端；一外管，具有與第一 端固定頭的外安裝區(qū)段的外表面接合的第一端和與第二端固定頭的外安裝區(qū)段的 外表面接合的第二端。\n本發(fā)明的實(shí)施例中，內(nèi)管和外管最好采用聚四氟乙烯制成，管的內(nèi)波紋表面 也可為向內(nèi)管的軸線傾斜的多個(gè)面，以防止摻雜物堆積。該波紋表面通過有效延 長(zhǎng)漏電需穿過的由管的高壓源端到達(dá)接地端的接地路徑的長(zhǎng)度，會(huì)減小處于不同 電位的系統(tǒng)部件之間打火的危險(xiǎn)性。由于內(nèi)管的內(nèi)表面上摻雜物堆積會(huì)產(chǎn)生打 火，內(nèi)管整體性遭到破壞而會(huì)釋放出浮在空氣中的物質(zhì)，則外管形成容器盛裝這 些物質(zhì)。外管還起到保證內(nèi)管的同軸性并使其保持該位置。合適的定位和同軸性 很重要，可確保摻雜物由內(nèi)管不斷排出，并可防止內(nèi)管隨使用時(shí)間的延長(zhǎng)而產(chǎn)生 不必要的移動(dòng)和整體變形或變質(zhì)。\n附圖說明\n圖1是一離子注入系統(tǒng)側(cè)剖面視圖，其內(nèi)裝有根據(jù)本發(fā)明原理構(gòu)成的改進(jìn)的 真空排氣管組件；\n圖2是圖1所示的改進(jìn)的真空排氣管組件部分的局部分離視圖；\n圖3是圖2所示真空排氣管組件內(nèi)部波紋管的側(cè)剖面視圖；\n圖4是圖2所示真空排氣管組件的下端固定頭的側(cè)剖面視圖；\n圖5是圖2所示真空排氣管組件的上端固定頭的側(cè)剖面視圖。\n具體實(shí)施方式\n參見附圖，圖1示出了一種離子注入器，由標(biāo)號(hào)10表示，它包括端部12、束 管14、及目標(biāo)或終端盤16，上述所有部件裝入一接地的外殼18內(nèi)。該端部包括 一包含有氣室22、離子源24和質(zhì)量磁分析器26的高電壓護(hù)罩20。根據(jù)本發(fā)明原 理構(gòu)成的排氣管組件28將高電壓護(hù)罩20與外殼18相連，下面將作進(jìn)一步說明。\n由離子源24發(fā)射的離子束29沿控制的運(yùn)行軌跡通過質(zhì)量磁分析器26射出端 部12，然后通過束管14到達(dá)終端盤16，注入置于終端盤內(nèi)的半導(dǎo)體晶片內(nèi)。沿 控制的運(yùn)行軌跡，離子束29成形、對(duì)其計(jì)值并使其加速到具有理想的注入能量。\n離子源24包括構(gòu)成等離子氣體室32的護(hù)罩30和離子分離器34。直接從氣室 22壓縮氣體獲得或間接通過氣化固體摻雜材料獲得的電離摻雜氣體噴入等離子氣 體室32。典型離子源元素有硼(B)、磷(P)、鈣(Ga)、銦(In)、銻(Sb) 和砷(As)。除硼以外，大多數(shù)離子源元素是以固態(tài)供給的，硼一般由氣室22 以氣態(tài)三氟化硼或二硼化物形式供給。\n傳遞給電離摻雜氣體能量，以在等離子氣體室32內(nèi)產(chǎn)生離子。一般產(chǎn)生的是 陽離子，盡管本發(fā)明也可適用于離子源產(chǎn)生陰離子的系統(tǒng)。由離子分離器34將陽 離子通過等離子氣體室32內(nèi)的狹縫排出，離子分離器34包括多個(gè)加有負(fù)電壓的 電極，隨著距等離子氣體室狹縫距離增大，其電壓幅值增大。因此，離子分離器 的功能是從等離子氣體室分離具有陽離子的離子束29，并使分離的離子加速進(jìn)入 質(zhì)量磁分析器26。\n質(zhì)量磁分析器26作用是使具有適當(dāng)電荷質(zhì)量比的離子通過以進(jìn)入束管14。采 用質(zhì)量磁分析器26是必要的，因?yàn)殡x子源24除產(chǎn)生具有適當(dāng)電荷質(zhì)量比的離子 外，還產(chǎn)生電荷質(zhì)量比值比期望的值大或小的離子。電荷質(zhì)量比不合適的離子不 適于注入晶片。質(zhì)量磁分析器26包括由鋁制的束導(dǎo)管38構(gòu)成的曲線狀束通道， 由一離子源區(qū)真空泵36對(duì)其進(jìn)行抽真空。沿該通道運(yùn)行的離子束29受質(zhì)量磁分 析器26產(chǎn)生的磁場(chǎng)作用。\n離開磁分析器26后，離子束29由在相互正交平面內(nèi)折射射束內(nèi)離子的四極 透鏡40進(jìn)行聚束。四極透鏡40沒有進(jìn)行足夠折射和聚束的射束內(nèi)離子會(huì)射離 離子束，而不會(huì)到達(dá)終端盤16。離子束內(nèi)的離子由加速/減速電極42進(jìn)行加 速或減速以獲得理想的最終注入能量，通過抽真空管44后射向終端盤16。由 束管區(qū)真空泵46對(duì)管44抽真空。\n終端盤16包括目標(biāo)室48，目標(biāo)室48安裝在一可移動(dòng)的支座50上，目的 是使目標(biāo)室可隨離子束進(jìn)行調(diào)整。離子束射到由晶片托架52托住的一片或多 片半導(dǎo)體晶片上，安裝的晶片托架52可由電機(jī)56驅(qū)動(dòng)繞軸54旋轉(zhuǎn)。直線驅(qū) 動(dòng)機(jī)構(gòu)58使晶片托架52在室48內(nèi)向后和向前轉(zhuǎn)換位置。\n半導(dǎo)體晶片由機(jī)械手臂60通過真空入口62插入目標(biāo)室48。目標(biāo)室真空 泵64對(duì)目標(biāo)室48抽真空，使其內(nèi)低壓基本與抽真空管44內(nèi)氣壓相等。(真 空泵36、46和64是通常已知的“低真空泵”。)機(jī)械手臂60在盒66和目 標(biāo)室48之間往復(fù)移動(dòng)。在該技術(shù)中，完成這一傳遞運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)是眾所周知的。\n圖1所示離子注入系統(tǒng)10的工作由兩高壓電源供電(圖中未示)，每個(gè) 高壓電源可輸出80kV至100kV電壓。第一高壓電源向加速/減速電極42供電， 加速/減速電極42相對(duì)于系統(tǒng)外殼18(接地)的電勢(shì)達(dá)到100kV。輸出端高 電壓護(hù)罩20電勢(shì)也是100kV，在與加速/減速電極42相同的電壓下工作。絕 緣襯套68使系統(tǒng)外殼(接地)和輸出端高壓護(hù)罩20之間形成電絕緣。將束管 總成內(nèi)抽真空管44與加速/減速電極42之間絕緣的絕緣襯套70起相同目的的 作用。\n第二高壓電源向分離電極34供電，分離電極34的工作電勢(shì)相對(duì)于加速/ 減速電極42達(dá)到100kV。因此，氣室22和離子源24工作電勢(shì)相對(duì)于接地電 勢(shì)達(dá)到200kV。絕緣襯套72使輸出端高電壓護(hù)罩20(100kV電勢(shì))與氣室/ 離子源(200kV電勢(shì))電絕緣。使抽真空電極34和氣室/離子源之間絕緣的絕 緣襯套72起相同的作用。\n離子源區(qū)真空泵36與排氣管組件28相連，排氣管組件28由泵36伸出并 穿過輸出端高電壓護(hù)罩20和接地的系統(tǒng)外殼18。圖中沒有給出束管區(qū)真空泵 46和目標(biāo)室真空泵64的排氣管，因?yàn)?，盡管本發(fā)明的排氣管組件可以用于該 泵中，但是還特別應(yīng)用于高壓環(huán)境，如離子源區(qū)真空泵工作的高壓環(huán)境。\n由圖2所示的排氣管組件28結(jié)構(gòu)更為清晰，它連接于接地外殼18和高壓 護(hù)罩20之間。排氣管組件28包括包圍內(nèi)波紋管84(如圖2斷開部所示)的 外圓筒形管82。內(nèi)波紋管84提供一條沿軸87延伸于排氣管組件28全長(zhǎng)的通 道85。在該最佳實(shí)施例中，外圓筒形管82和內(nèi)波紋管84由聚四氟乙烯 (PTFE)，或特氟隆材料制造，特氟隆是杜邦公司的注冊(cè)商標(biāo)。PIFE不導(dǎo) 電，并且在加熱狀態(tài)能保持結(jié)構(gòu)完整。除PIFE外的其它材料也可用于制造管 82、84，只要其具有同樣的結(jié)構(gòu)和導(dǎo)電特性。\n排氣管組件28具有下端固定頭86和上端固定頭88，由于不需要絕緣最 好采用金屬制成(例如不銹鋼)。下端固定頭86將排氣管組件28與離子源區(qū) 真空泵36相連(通過圖中未示出的輔助排氣結(jié)構(gòu)(如管道))，上端固定頭 88將排氣管組件28與外界環(huán)境相連通(也通過圖中未示的輔助管道)。下端 固定頭86采用錐形接頭90，上端固定頭88的連接采用法蘭接頭92。\n圖3、4和5分別示出了內(nèi)波紋管84、下端固定頭86和上端固定頭88。 內(nèi)波紋管84包括波紋中段94、下端區(qū)段96和上端區(qū)段98。形成波紋管84 的波紋內(nèi)表面的單個(gè)波浪起伏99向軸87傾斜，使內(nèi)表面不會(huì)形成凸起或凹 陷，否則會(huì)引起摻雜物聚積。此外，收集容器與位于排氣管組件28下面的排 氣結(jié)構(gòu)結(jié)合，以收集由通道85落下的摻雜物。\n由波紋管的波紋內(nèi)表面形成的波浪起伏還起到增大接地路徑長(zhǎng)度的作 用，漏電需要通過管84的高電壓(下)端到接地(上)端進(jìn)行釋放。增大接 地路徑長(zhǎng)度很重要，因?yàn)橥ㄟ^接地路徑全長(zhǎng)的漏電會(huì)造成離子注入系統(tǒng)10斷 電的高壓護(hù)罩20和接地外殼18之間的打火。這樣，波紋內(nèi)管84會(huì)有效降低 護(hù)罩20和外殼18間打火的危險(xiǎn)性。\n下端固定頭86和上端固定頭88具有安裝于波紋內(nèi)管84和外圓筒形管82 以形成真空排氣管組件28的階梯形分段。如圖2-5所示，波紋內(nèi)管84的下 端分段96在下端固定頭86的內(nèi)階梯形分段100上滑動(dòng)。內(nèi)階梯形分段100具 有環(huán)狀隆起102，在波紋內(nèi)管84和下端固定頭86之間形成滑動(dòng)配合。這樣， 在波紋內(nèi)管84和下端固定頭86之間形成活動(dòng)連接。由于構(gòu)成管84的PTFE 材料受熱易于收縮，因此在離子注入系統(tǒng)10工作時(shí)，波紋內(nèi)管84和下端固定 頭86之間的配合會(huì)得到改善。\n同樣地，波紋內(nèi)管84的上端分段98在上端固定頭88的內(nèi)階梯形分段106 上滑動(dòng)。內(nèi)階梯形分段106具有環(huán)狀隆起108，在波紋內(nèi)管84和上端固定頭 88之間形成滑動(dòng)配合。這樣，波紋內(nèi)管84可從兩端固定頭活動(dòng)拆卸下來。\n外圓筒形管82包圍整個(gè)波紋內(nèi)管84，并具有在下端固定頭86和上端固 定頭88的外階梯形分段112和114上滑動(dòng)的相應(yīng)端部。O形環(huán)116位于外階 梯形分段112的固定環(huán)道118內(nèi)，在外圓筒形管82和下端固定頭86間形成密 封。同樣，O形環(huán)120位于外階梯形分段114的環(huán)道122內(nèi)，在外圓筒形管 82和上端固定頭88間形成密封。螺釘124和126使外圓筒形管82相應(yīng)固定 在下、上端固定頭的外階梯形分段上。螺絲孔128和130內(nèi)分別擰入螺釘124 和126。\n盡管公開的本發(fā)明實(shí)施例包括上、下端固定頭88和86，但考慮了本發(fā)明 可以采用或不用獨(dú)立的端固定頭。不需采用端固定頭即可保持由外管包圍的內(nèi) 管的雙隔壁結(jié)構(gòu)，例如，采用使內(nèi)、外管直接相互結(jié)合的裝置。有一種裝置是 快速結(jié)合結(jié)構(gòu)，使內(nèi)管或外管其中之一的一分段裝入內(nèi)管或外管之中另一個(gè)的 分段，而不需采用獨(dú)立的結(jié)合件。換句話說，在一沒有采用獨(dú)立的端固定頭的 實(shí)施例中，利用結(jié)合件直接將內(nèi)管和外管結(jié)合起來。這樣，此處使用的述語“端 固定頭”表示接合于包括內(nèi)、外管82、84的總成的兩端中任何一端的任何結(jié) 構(gòu)。\n外圓筒形管82保護(hù)并支持內(nèi)波紋管84的形狀和長(zhǎng)度，保證組件28的堅(jiān) 固性，只有單一內(nèi)波紋管是不能獲得這樣的堅(jiān)固性的。在最佳實(shí)施例中，外圓 筒形管具有厚于內(nèi)波紋管壁的管壁。此外，如果內(nèi)管被擊穿，則可能是由于內(nèi) 管內(nèi)表面摻雜物堆積引起的放電，包圍內(nèi)管的外管會(huì)形成密封裝置盛裝有毒的 流出物。O形環(huán)116和120支撐該密封裝置。\n離子注入系統(tǒng)10長(zhǎng)時(shí)間工作后，內(nèi)波紋管84被離子源區(qū)真空泵36排出 的雜質(zhì)沾染。本發(fā)明排氣管組件28，具有外圓筒形管82包圍內(nèi)波紋管84形 成的雙壁結(jié)構(gòu)，使組件可重新構(gòu)造價(jià)廉的排氣管。并保持電絕緣的整體性。特 別地，整個(gè)排氣管組件28首先從高壓護(hù)罩20和接地外殼18之間的位置拆下。 松開螺釘124和126使外圓筒形管82與端固定頭86和88分離。只要用力將 管從端固定頭上拆下即可使內(nèi)波紋管84與端固定頭86和88分離。然后將新 的替換內(nèi)波紋管84裝上端固定頭，外管82再與端固定頭接合，接著整個(gè)新組 件28可重新裝入系統(tǒng)10。\n以上對(duì)改進(jìn)的用于離子注入的真空泵排氣管組件以及重新構(gòu)造價(jià)廉的組 件以保持其電絕緣整體性的方法進(jìn)行了描述。但是，應(yīng)該明白該描述是通過實(shí) 施例進(jìn)行的，本發(fā)明不僅限于所述的個(gè)別實(shí)施例，可以對(duì)上述描述進(jìn)行不背離 由下面的權(quán)利要求及其等同物限定的本發(fā)明范圍內(nèi)進(jìn)行各種重組、變形和替 代。