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高靈敏度壓力傳感器封裝

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201911354468.X
  • IPC分類號：G01L13/02;G01L19/06
  • 申請日期：
    2019-12-25
  • 申請人：
    通用電氣（GE）貝克休斯有限責任公司
著錄項信息
專利名稱高靈敏度壓力傳感器封裝
申請?zhí)?/td>CN201911354468.X申請日期2019-12-25
法律狀態(tài)實質審查申報國家暫無
公開/公告日2020-07-10公開/公告號CN111397794A
優(yōu)先權暫無優(yōu)先權號暫無
主分類號G01L13/02IPC分類號G;0;1;L;1;3;/;0;2;;;G;0;1;L;1;9;/;0;6查看分類表>
申請人通用電氣（GE）貝克休斯有限責任公司申請人地址
美國得克薩斯 變更 專利地址、主體等相關變化，請及時變更，防止失效
權利人通用電氣（GE）貝克休斯有限責任公司當前權利人通用電氣（GE）貝克休斯有限責任公司
發(fā)明人拉塞爾·克拉多克;馬丁·馬歇爾
代理機構中國國際貿易促進委員會專利商標事務所代理人秦振
摘要
一種壓力感測封裝包括傳感器室和環(huán)狀室，所述環(huán)狀室圍繞所述傳感器室延伸。主膜片將所述傳感器室分成第一部分和第二部分，所述第一部分接收第一壓力，所述第二部分包括相對于傳感器軸線大致居中的壓差傳感器以及第一傳遞流體。所述第一傳遞流體將所述第一壓力傳遞到第一壓差傳感器面。輔膜片將所述環(huán)狀室分成第一部分和第二部分，所述第一部分接收第二壓力，所述第二部分包括第二傳遞流體。所述第二壓力經由所述輔膜片和所述第二傳遞流體傳遞到第二壓力傳感器面。所述主膜片和所述輔膜片沿著所述傳感器軸線方向相對于彼此定位，使得除了所述第一壓力和所述第二壓力外的作用在所述壓力傳感器上的壓力合計近似為零。

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