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CMOS圖像傳感器及其制造方法

發(fā)明專利無(wú)效專利

申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
CN200610094160.2
IPC分類號(hào)：H01L27/146;H01L21/822
申請(qǐng)日期：
2006-06-27
申請(qǐng)人：
東部電子有限公司

基礎(chǔ)信息

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說(shuō)明書

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法律信息

引證文獻(xiàn)

著錄項(xiàng)信息

專利名稱	CMOS圖像傳感器及其制造方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>	CN200610094160.2	申請(qǐng)日期	2006-06-27
法律狀態(tài)	權(quán)利終止	申報(bào)國(guó)家	中國(guó)
公開/公告日	2007-01-10	公開/公告號(hào)	CN1893099
優(yōu)先權(quán)	暫無(wú)	優(yōu)先權(quán)號(hào)	暫無(wú)
主分類號(hào)	H01L27/146 ? IPC結(jié)構(gòu)圖譜： H 電學(xué) H9 電學(xué) H01 基本電氣元件 H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件（使用半導(dǎo)體器件的測(cè)量入G01；一般電阻器入H01C；磁體、電感器、變壓器入H01F；一般電容器入H01G；電解型器件入H01G 9/00；電池組、蓄電池入H01M；波導(dǎo)管、諧振器或波導(dǎo)型線路入H01P；線路連接器、匯流器入H01R；受激發(fā)射器件入H01S；機(jī)電諧振器入H03H；揚(yáng)聲器、送話器、留聲機(jī)拾音器或類似的聲機(jī)電傳感器入H04R；一般電光源入H05B；印刷電路、混合電路、電設(shè)備的外殼或結(jié)構(gòu)零部件、電氣元件的組件的制造入H05K；在具有特殊應(yīng)用的電路中半導(dǎo)體器件的使用見該應(yīng)用的小類）〔2〕 H01L27/00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件（其零部件入H01L 23/00，H01L 29/00至H01L 51/00；由多個(gè)單個(gè)固態(tài)器件組成的組裝件入H01L 25/00）〔2，8〕 H01L27/14 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的，或適用于通過(guò)這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的（只與一個(gè)或多個(gè)電光源在結(jié)構(gòu)上相結(jié)合的輻射敏感元件入H01L 31/14；光導(dǎo)與光電元件的耦合入G02B 6/42）〔2〕 H01L27/144 由輻射控制的器件〔5〕 H01L27/146 圖像結(jié)構(gòu)〔5〕	IPC分類號(hào)	H;0;1;L;2;7;/;1;4;6;;;H;0;1;L;2;1;/;8;2;2查看分類表>
申請(qǐng)人	東部電子有限公司	申請(qǐng)人地址	韓國(guó)首爾變更專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人	東部電子有限公司	當(dāng)前權(quán)利人	東部電子有限公司
發(fā)明人	金相植
代理機(jī)構(gòu)	中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司	代理人	李濤;鐘強(qiáng)

摘要

提供一種CMOS圖像傳感器及其制造方法。該圖像傳感器包括層間絕緣層，濾色層，第一平滑層，以及至少一個(gè)微透鏡。該層間絕緣層形成在包括至少一個(gè)光電二極管的半導(dǎo)體襯底上。該濾色層形成在層間絕緣層上并且包括至少一個(gè)具有預(yù)定波長(zhǎng)的濾色片。該第一平滑層形成在包括濾色層的半導(dǎo)體襯底的整個(gè)表面上，并且具有通過(guò)預(yù)定熱處理被硬化之后的均勻表面張力。該至少一個(gè)微透鏡與光電二極管相對(duì)應(yīng)地形成在第一平滑層上。

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