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一種用于濺鍍載具的清潔裝置

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201811514967.6
  • IPC分類號(hào)：B08B1/00;B08B1/02;B08B5/02;B08B15/04
  • 申請(qǐng)日期：
    2018-12-12
  • 申請(qǐng)人：
    深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱一種用于濺鍍載具的清潔裝置
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201811514967.6申請(qǐng)日期2018-12-12
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開(kāi)/公告日2019-04-12公開(kāi)/公告號(hào)CN109604195A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)B08B1/00IPC分類號(hào)B;0;8;B;1;/;0;0;;;B;0;8;B;1;/;0;2;;;B;0;8;B;5;/;0;2;;;B;0;8;B;1;5;/;0;4查看分類表>
申請(qǐng)人深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司申請(qǐng)人地址
廣東省深圳市光明新區(qū)公明街道塘明大道9-2號(hào) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司當(dāng)前權(quán)利人深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
發(fā)明人劉宏茂
代理機(jī)構(gòu)深圳匯智容達(dá)專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙）代理人孫威;潘中毅
摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于濺鍍載具的清潔裝置，用以去除濺鍍載具傳動(dòng)載具底部的傳動(dòng)導(dǎo)軌和傳動(dòng)滾輪摩擦產(chǎn)生的金屬灰塵，包括：緊固在傳動(dòng)導(dǎo)軌周圍的支架；裝設(shè)在支架上的用以去除附著在傳動(dòng)導(dǎo)軌上金屬灰塵的刷體；裝設(shè)在支架上的用以去除附著在傳動(dòng)導(dǎo)軌和/或傳動(dòng)滾輪表面的金屬灰塵，形成防止灰塵擴(kuò)散的定向氣流的正壓去除組件；以及用以產(chǎn)生定向氣流流向，對(duì)金屬灰塵進(jìn)行收集的真空去除收集組件。實(shí)施本發(fā)明的用于濺鍍載具的清潔裝置，能夠在傳動(dòng)載具正常運(yùn)作的情況下，自動(dòng)清潔因摩擦產(chǎn)生的灰塵，并自動(dòng)收集；降低灰塵造成的膜層不良的概率；結(jié)構(gòu)布置合理，實(shí)現(xiàn)高效清潔。

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