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帶有管中的加熱器的負(fù)載鎖定室

發(fā)明專利無效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN200780028318.9
  • IPC分類號(hào)：F26B3/30
  • 申請(qǐng)日期：
    2007-08-10
  • 申請(qǐng)人：
    應(yīng)用材料股份有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱帶有管中的加熱器的負(fù)載鎖定室
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN200780028318.9申請(qǐng)日期2007-08-10
法律狀態(tài)權(quán)利終止申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開/公告日2009-07-29公開/公告號(hào)CN101495829
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)F26B3/30IPC分類號(hào)F;2;6;B;3;/;3;0查看分類表>
申請(qǐng)人應(yīng)用材料股份有限公司申請(qǐng)人地址
美國(guó)加利福尼亞州 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人應(yīng)用材料公司當(dāng)前權(quán)利人應(yīng)用材料公司
發(fā)明人S·安瓦爾;李皆淳;S·栗田
代理機(jī)構(gòu)上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司代理人陸嘉
摘要
本發(fā)明的實(shí)施例包含經(jīng)加熱的負(fù)載鎖定室。在一實(shí)施例中，經(jīng)加熱的負(fù)載鎖定室包含腔體主體，所述腔體主體具有多個(gè)燈組件，這些燈組件至少部份地位于腔體主體中。每個(gè)燈組件包含可罩住一燈的傳導(dǎo)管件。所述傳導(dǎo)管件延伸進(jìn)入所述腔體主體中，并提供壓力阻障以將所述燈與所述腔體主體的內(nèi)部體積隔離開。在另一實(shí)施例中，所述傳導(dǎo)管件的開口端延伸穿過所述腔體主體的側(cè)壁。所述傳導(dǎo)管件的封閉端是由所述腔體主體的內(nèi)部體積包圍的，且在所述腔體主體的頂部下方按間隔的關(guān)系被支撐著。所述管件的開口端被密封至所述腔體主體的側(cè)壁，使得所述管件的內(nèi)部朝向大氣打開。

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