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修調(diào)電阻控制裝置及使用該裝置的晶圓測試系統(tǒng)

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201310510848.4
  • IPC分類號：--
  • 申請日期：
    2013-10-25
  • 申請人：
    無錫中星微電子有限公司
著錄項信息
專利名稱修調(diào)電阻控制裝置及使用該裝置的晶圓測試系統(tǒng)
申請?zhí)?/td>CN201310510848.4申請日期2013-10-25
法律狀態(tài)授權(quán)申報國家中國
公開/公告日2014-01-22公開/公告號CN103531576A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號暫無IPC分類號暫無查看分類表>
申請人無錫中星微電子有限公司申請人地址
江蘇省無錫市新區(qū)清源路18號太湖國際科技園傳感網(wǎng)大學科技園530大廈A1001 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人無錫中感微電子股份有限公司當前權(quán)利人無錫中感微電子股份有限公司
發(fā)明人王釗
代理機構(gòu)無錫互維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人戴薇
摘要
本發(fā)明提供一種修調(diào)電阻控制裝置及使用該裝置的晶圓測試系統(tǒng)，其中，所述修調(diào)電阻控制裝置包括：多個依次相連的電壓源，相鄰兩個電壓源之間通過各自的相同電極相連；多個依次串聯(lián)的電容，每個電容與其對應的電壓源并聯(lián)；多個修調(diào)開關(guān)和多個探針；其中相連接的每兩個電容的中間節(jié)點通過一個修調(diào)開關(guān)與一個探針相連，最外側(cè)的電容的未與其他電容連接的連接端通過一個修調(diào)開關(guān)與一個探針相連。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中的修調(diào)電阻控制裝置及其使用該裝置的晶圓測試系統(tǒng)包括N個依次相連的電壓源且相鄰兩個電壓源之間通過各自的相同電極相連，使其可以同時熔斷修調(diào)電阻中的多個熔絲，從而縮短晶圓測試時間。

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