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一種硅片插片機用硅片不良品檢測裝置

實用新型專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201820010478.6
  • IPC分類號:B07C5/342;B07C5/02;B07C5/36
  • 申請日期:
    2018-01-04
  • 申請人:
    江西寶群電子科技有限公司
著錄項信息
專利名稱一種硅片插片機用硅片不良品檢測裝置
申請?zhí)?/td>CN201820010478.6申請日期2018-01-04
法律狀態(tài)授權(quán)申報國家中國
公開/公告日公開/公告號
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號B07C5/342IPC分類號B;0;7;C;5;/;3;4;2;;;B;0;7;C;5;/;0;2;;;B;0;7;C;5;/;3;6查看分類表>
申請人江西寶群電子科技有限公司申請人地址
江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)高新七路192號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化,請及時變更,防止失效
權(quán)利人江西寶群電子科技有限公司當(dāng)前權(quán)利人江西寶群電子科技有限公司
發(fā)明人張志康;吳洋洋;丁貴英
代理機構(gòu)暫無代理人暫無
摘要
本實用新型涉及一種硅片插片機用硅片不良品檢測裝置。當(dāng)前,現(xiàn)有的硅片不良品檢測裝置采用的檢測方法主要為視覺檢測,既安裝攝像頭進行拍照,然后電腦分析硅片是否破損,成本高,檢測效果不盡如人意,準確率偏低。本實用新型涉及一種硅片插片機用硅片不良品檢測裝置,其中:第一固定座安裝于硅片插片機的機架上,兩根連接軸安裝于第一固定座上,檢視支架通過連接軸與第一固定座連接,四根光電支架安裝于檢視支架上表面四個角的位置上。本裝置采用四個光纖傳感器來檢測破損硅片來檢測硅片是否有破損,只要有一個光纖檢測不到,該硅片將視為不良品挑出拿掉,通過該裝置節(jié)省了后面工序的時間,提高了企業(yè)生產(chǎn)效率,避免了時間和資源的浪費。

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