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一種用于半導體設備研磨頭壓環(huán)清洗的提拉治具

實用新型專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201921223461.X
  • IPC分類號：B08B13/00;B08B3/08
  • 申請日期：
    2019-07-31
  • 申請人：
    富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司
著錄項信息
專利名稱一種用于半導體設備研磨頭壓環(huán)清洗的提拉治具
申請?zhí)?/td>CN201921223461.X申請日期2019-07-31
法律狀態(tài)授權申報國家暫無
公開/公告日公開/公告號
優(yōu)先權暫無優(yōu)先權號暫無
主分類號B08B13/00IPC分類號B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;B;0;8;B;3;/;0;8查看分類表>
申請人富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司申請人地址
遼寧省大連市保稅區(qū)海明路179-8號（環(huán)普國際產(chǎn)業(yè)園B04棟） 變更 專利地址、主體等相關變化，請及時變更，防止失效
權利人富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司當前權利人富樂德科技發(fā)展（大連）有限公司
發(fā)明人朱光宇;賀賢漢;李泓波;張正偉;陳智慧;王松朋
代理機構大連智高專利事務所（特殊普通合伙）代理人蓋小靜
摘要
本實用新型公開了一種用于半導體設備研磨頭壓環(huán)清洗的提拉治具，屬于半導體設備提拉治具領域，包括提拉底板，所述提拉底板中心處開設有壓環(huán)清洗槽，所述壓環(huán)清洗槽上設有蓋板，壓環(huán)清洗槽底面開設有多個通孔；提拉底板上開設有多個提拉把手插槽，多個提拉把手插槽分別位于壓環(huán)清洗槽兩側(cè)且關于壓環(huán)清洗槽對稱；所述提拉底板上連接有多個提拉把手，所述提拉把手設于提拉把手插槽內(nèi)；結構簡單，節(jié)約成本，安全性高。

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