加載中...
首頁專利查詢專利詳情

*來源于國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局?jǐn)?shù)據(jù)，僅供參考，實(shí)際以國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局展示為準(zhǔn)

一種改進(jìn)的化學(xué)機(jī)械拋光方法

發(fā)明專利無效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN200710070433.4
  • IPC分類號：B24B29/00;H01L21/304;C09G1/02
  • 申請日期：
    2007-08-01
  • 申請人：
    浙江工業(yè)大學(xué)
著錄項(xiàng)信息
專利名稱一種改進(jìn)的化學(xué)機(jī)械拋光方法
申請?zhí)?/td>CN200710070433.4申請日期2007-08-01
法律狀態(tài)駁回申報(bào)國家中國
公開/公告日2008-02-06公開/公告號CN101116951
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號B24B29/00IPC分類號B;2;4;B;2;9;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4;;;C;0;9;G;1;/;0;2查看分類表>
申請人浙江工業(yè)大學(xué)申請人地址
浙江省杭州市下城區(qū)朝暉六區(qū) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人浙江工業(yè)大學(xué)當(dāng)前權(quán)利人浙江工業(yè)大學(xué)
發(fā)明人許雪峰;馬冰迅;彭偉
代理機(jī)構(gòu)杭州天正專利事務(wù)所有限公司代理人王兵;王利強(qiáng)
摘要
一種改進(jìn)的化學(xué)機(jī)械拋光方法，包括以下步驟：(1)配置拋光液：在拋光液中加入聚合物粒子，所述的聚合物粒子在拋光液中呈分散性，所述的聚合物粒子與拋光液的磨粒之間存在靜電力吸引，所述的聚合物粒子的粒徑比磨粒的粒徑大；(2)拋光：將拋光液輸送到拋光盤中，對載樣盤中的工件進(jìn)行拋光，所述拋光盤采用硬質(zhì)材料制成，所述的硬質(zhì)材料與拋光液的化學(xué)物質(zhì)無化學(xué)反應(yīng)。本發(fā)明提供一種有效減少磨損、避免工件周邊產(chǎn)生塌邊、降低生產(chǎn)成本的改進(jìn)的化學(xué)機(jī)械拋光方法。

我瀏覽過的專利

    專利服務(wù)由北京酷愛智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理公司提供