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一種整組硅片橫移裝置

實(shí)用新型專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201921511612.1
  • IPC分類號：H01L21/677;H01L21/67
  • 申請日期：
    2019-09-11
  • 申請人：
    羅博特科智能科技股份有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱一種整組硅片橫移裝置
申請?zhí)?/td>CN201921511612.1申請日期2019-09-11
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國家中國
公開/公告日公開/公告號
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號H01L21/677IPC分類號H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分類表>
申請人羅博特科智能科技股份有限公司申請人地址
江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)唯亭港浪路3號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人羅博特科智能科技股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人羅博特科智能科技股份有限公司
發(fā)明人張學(xué)強(qiáng);戴軍;張建偉;羅銀兵;張巍
代理機(jī)構(gòu)蘇州市中南偉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙）代理人李艾
摘要
本實(shí)用新型公開了一種整組硅片橫移裝置，該裝置包括X向驅(qū)動機(jī)構(gòu)、Y向驅(qū)動機(jī)構(gòu)和頂升機(jī)構(gòu)，X向驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括第一安裝架，第一安裝架上設(shè)有X向傳送帶、X向驅(qū)動電機(jī)，X向驅(qū)動電機(jī)驅(qū)動X向傳送帶沿X向運(yùn)動，第一安裝架上還設(shè)有容納槽，容納槽的兩邊設(shè)置有支撐X向傳送帶的支撐輪，容納槽的下方設(shè)置有轉(zhuǎn)接輪，X向傳送帶與轉(zhuǎn)接輪連接從而避讓容納槽；Y向驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括第二安裝架，第二安裝架上設(shè)有Y向傳送帶、Y向驅(qū)動電機(jī)，Y向傳送帶設(shè)于容納槽中；頂升機(jī)構(gòu)與第二安裝架連接，頂升機(jī)構(gòu)可驅(qū)動第二安裝架上升，將Y向傳送帶頂升出容納槽。該裝置結(jié)構(gòu)合理，自動化程度高，可以滿足硅片在多個(gè)工位之間的不同傳輸需求，提高硅片加工效率。

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