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一種基板清洗設(shè)備

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201310752372.5
  • IPC分類號：B08B11/04;H01L21/66
  • 申請日期：
    2013-12-30
  • 申請人：
    合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司
著錄項信息
專利名稱一種基板清洗設(shè)備
申請?zhí)?/td>CN201310752372.5申請日期2013-12-30
法律狀態(tài)授權(quán)申報國家中國
公開/公告日2014-04-02公開/公告號CN103691715A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號B08B11/04IPC分類號B;0;8;B;1;1;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分類表>
申請人合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司申請人地址
安徽省合肥市新站區(qū)銅陵北路2177號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人合肥京東方光電科技有限公司,京東方科技集團股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人合肥京東方光電科技有限公司,京東方科技集團股份有限公司
發(fā)明人劉建輝;丁欣;陳甫;張亮;袁濤;劉祖宏;吳代吾;侯智
代理機構(gòu)北京同達信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人黃志華
摘要
本發(fā)明公開了一種基板清洗設(shè)備，包括機架、用于盛放玻璃基板的載臺、安裝有超聲波發(fā)射器的清洗頭本體、至少一個激光位移傳感器、以及信號處理器；其中，載臺固定于機架；清洗頭本體位于載臺上方，且可滑動地安裝于機架；激光位移傳感器安裝于清洗頭本體、且通過向玻璃基板表面發(fā)射激光探測射線來測量激光位移傳感器與玻璃基板表面之間的距離信息；信號處理器與激光位移傳感器信號連接、且用于當(dāng)激光位移傳感器與玻璃基板表面之間的距離信息出現(xiàn)異常時判斷玻璃基板破損。本發(fā)明提供的基板清洗設(shè)備能夠準(zhǔn)確地檢測出被測玻璃基板是否有破損，且能夠避免漏檢的情況出現(xiàn)，提高了破損玻璃基板的檢出率。

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