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用于在金屬基材上沉積無機(jī)顆粒的低溫方法及由其生產(chǎn)的制品

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201980078341.1
  • IPC分類號(hào)：C23C16/36;B28B3/26;C23C16/46;C23C16/52
  • 申請日期：
    2019-09-20
  • 申請人：
    康寧股份有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱用于在金屬基材上沉積無機(jī)顆粒的低溫方法及由其生產(chǎn)的制品
申請?zhí)?/td>CN201980078341.1申請日期2019-09-20
法律狀態(tài)實(shí)質(zhì)審查申報(bào)國家中國
公開/公告日2021-07-23公開/公告號(hào)CN113166933A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)C23C16/36
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IPC結(jié)構(gòu)圖譜：
IPC分類號(hào)C;2;3;C;1;6;/;3;6;;;B;2;8;B;3;/;2;6;;;C;2;3;C;1;6;/;4;6;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2查看分類表>
申請人康寧股份有限公司申請人地址
美國紐約州 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人康寧股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人康寧股份有限公司
發(fā)明人金勳;C·A·保爾森
代理機(jī)構(gòu)上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司代理人張璐;樂洪詠
摘要
用于通過化學(xué)氣相沉積(CVD)在金屬基材上沉積包含碳氮化鈦的無機(jī)顆粒的方法。在一些實(shí)施方式中，可以向CVD過程供應(yīng)兩種或更多種反應(yīng)形成無機(jī)顆粒的源氣體。其中的至少一種源氣體包括鈦源氣體。并且碳和氮的來源可以是(a)包括碳和氮源氣體并且生成熱能小于65.9千焦/摩爾的單種源氣體，和/或(b)兩種源氣體，其包括碳源氣體和氮源氣體，所述碳源氣體包含具有碳?氮單鍵的氣體分子。在一些實(shí)施方式中，可以向CVD過程供應(yīng)包含用于形成無機(jī)顆粒的金屬有機(jī)化合物的源氣體。在一些實(shí)施方式中，可以向CVD過程供應(yīng)含鋁的金屬有機(jī)還原劑。

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