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雙探針原子力顯微鏡及采用該顯微鏡實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)操作的方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201310389447.8
  • IPC分類號(hào)：G01Q60/24
  • 申請(qǐng)日期：
    2013-08-30
  • 申請(qǐng)人：
    哈爾濱工業(yè)大學(xué)
著錄項(xiàng)信息
專利名稱雙探針原子力顯微鏡及采用該顯微鏡實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)操作的方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201310389447.8申請(qǐng)日期2013-08-30
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開/公告日2013-11-27公開/公告號(hào)CN103412150A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)G01Q60/24IPC分類號(hào)G;0;1;Q;6;0;/;2;4查看分類表>
申請(qǐng)人哈爾濱工業(yè)大學(xué)申請(qǐng)人地址
黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)西大直街92號(hào) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人哈爾濱工業(yè)大學(xué)當(dāng)前權(quán)利人哈爾濱工業(yè)大學(xué)
發(fā)明人謝暉;榮偉彬;孫立寧
代理機(jī)構(gòu)哈爾濱市松花江專利商標(biāo)事務(wù)所代理人張宏威
摘要
雙探針原子力顯微鏡及采用該顯微鏡實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)操作的方法，涉及納米操作和組裝的光機(jī)電一體化技術(shù)，尤其涉及實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)或納米器件三維操作和組裝的光機(jī)電一體化技術(shù)。它為了解決傳統(tǒng)的原子力顯微鏡不能實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)的三維攝取和釋放的問題。本發(fā)明通過上位機(jī)和雙路探針控制器對(duì)兩個(gè)納米定位臺(tái)和三個(gè)微米定位臺(tái)移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)兩個(gè)探針手臂和樣品臺(tái)移動(dòng)。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)納米結(jié)構(gòu)的夾持、三維攝取和釋放操作，雙路探針控制器能夠?qū)崿F(xiàn)兩個(gè)探針手臂在Z方向位置的精確控制，確保了夾持、攝取和釋放過程的穩(wěn)定性。本發(fā)明適用于納米制造、測(cè)試、特性表征以及生物領(lǐng)域。

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