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用化學(xué)汽相沉積制作薄膜的方法和裝置

發(fā)明專利無效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN98807069.3
  • IPC分類號：--
  • 申請日期：
    1998-07-14
  • 申請人：
    塞姆特里克斯公司
著錄項信息
專利名稱用化學(xué)汽相沉積制作薄膜的方法和裝置
申請?zhí)?/td>CN98807069.3申請日期1998-07-14
法律狀態(tài)權(quán)利終止申報國家中國
公開/公告日2000-08-16公開/公告號CN1263569
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號暫無IPC分類號暫無查看分類表>
申請人塞姆特里克斯公司申請人地址
美國科羅拉多 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人塞姆特里克斯公司當(dāng)前權(quán)利人塞姆特里克斯公司
發(fā)明人卡洛斯·A·帕茲德阿羅;拉里·D·麥克米倫;納拉嚴(yán)·索拉亞攀;杰弗里·W·培根
代理機構(gòu)永新專利商標(biāo)代理有限公司代理人韓宏
摘要
一文丘里霧發(fā)生器(141、142、143、16)從一含有有機金屬化合物的液態(tài)前體生成霧，其中的霧滴的直徑小于1μm。霧混合后送入一氣化器(160)，在該氣化器中霧滴在低于該前體化合物發(fā)生分解的溫度的100℃-250℃下氣化。氣化前體化合物在絕熱管道(161、168)中在室溫下由載氣傳送，以防止凝結(jié)和過早分解。由氣化前體與氧化劑氣體混合成的氣態(tài)反應(yīng)混合物從一噴頭(184)噴入一沉積反應(yīng)器中，該沉積反應(yīng)器中有一加熱到300℃-600℃的基片(185)。該氣化前體在基片(185)上分解而在基片上生成一固體材料薄膜(860)。該薄膜(860)經(jīng)500℃-900℃的高溫處理，生成多晶金屬氧化物材料、特別是鐵電分層超點陣材料。

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