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散射器支撐

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN200810126948.6
  • IPC分類號：C23C16/44;G02F1/1362
  • 申請日期：
    2008-06-20
  • 申請人：
    應(yīng)用材料股份有限公司
著錄項信息
專利名稱散射器支撐
申請?zhí)?/td>CN200810126948.6申請日期2008-06-20
法律狀態(tài)暫無申報國家中國
公開/公告日2008-12-31公開/公告號CN101333651
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號C23C16/44
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IPC結(jié)構(gòu)圖譜：
IPC分類號C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;G;0;2;F;1;/;1;3;6;2查看分類表>
申請人應(yīng)用材料股份有限公司申請人地址
美國加利福尼亞州 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人應(yīng)用材料公司當(dāng)前權(quán)利人應(yīng)用材料公司
發(fā)明人約翰·M·懷特;羅賓·L·蒂納;耶·庫爾特·張
代理機(jī)構(gòu)北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人徐金國
摘要
氣體分配裝置的實(shí)施方式包含耦接到散射器并穿過背板可移動地設(shè)置的散射器支持部件。在基板支架的基板接收表面上的基板的處理方法的實(shí)施方式包括提供散射器，在其中散射器支撐部件支撐散射器并穿過背板可移動地設(shè)置。

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