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光阻烘烤裝置和光阻烘烤設(shè)備

實(shí)用新型專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN202022005611.9
  • IPC分類號(hào)：G03F7/38
  • 申請(qǐng)日期：
    2020-09-14
  • 申請(qǐng)人：
    昆山龍騰光電股份有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱光阻烘烤裝置和光阻烘烤設(shè)備
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN202022005611.9申請(qǐng)日期2020-09-14
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開(kāi)/公告日公開(kāi)/公告號(hào)
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)G03F7/38IPC分類號(hào)G;0;3;F;7;/;3;8查看分類表>
申請(qǐng)人昆山龍騰光電股份有限公司申請(qǐng)人地址
江蘇省蘇州市昆山市開(kāi)發(fā)區(qū)龍騰路1號(hào) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人昆山龍騰光電股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人昆山龍騰光電股份有限公司
發(fā)明人汪杰;楊莉
代理機(jī)構(gòu)暫無(wú)代理人暫無(wú)
摘要
本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，其實(shí)施例公開(kāi)了一種光阻烘烤裝置和光阻烘烤設(shè)備，該光阻烘烤裝置包括由底板和蓋板圍合組成的烘烤腔體，還包括位于該底板上的加熱板以及與該加熱板電連接的控制器，該加熱板用于放置待烘烤基板；該蓋板在與該加熱板相對(duì)的一側(cè)上設(shè)有多個(gè)陣列排布的溫度調(diào)節(jié)組件，多個(gè)該溫度調(diào)節(jié)組件分別與該控制器電連接，并通過(guò)該控制器分別調(diào)節(jié)每個(gè)該溫度調(diào)節(jié)組件的加熱溫度。該光阻烘烤裝置可以根據(jù)不同情況對(duì)產(chǎn)品線寬尺寸進(jìn)行局部調(diào)整，改善產(chǎn)品線寬尺寸的均一性；還可以有效改善光阻涂布時(shí)起刀部的局部線寬尺寸偏大或偏小的問(wèn)題，提高了該光阻烘烤裝置的使用靈活性。該光阻烘烤設(shè)備包括如上所述的該光阻烘烤裝置。

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