加載中...
首頁(yè)專利查詢專利詳情

*來(lái)源于國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局?jǐn)?shù)據(jù)，僅供參考，實(shí)際以國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局展示為準(zhǔn)

基于Linnik型干涉顯微鏡的同步偏振相移檢焦系統(tǒng)

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201910137473.9
  • IPC分類號(hào)：G01S17/08;G01B11/24
  • 申請(qǐng)日期：
    2019-02-25
  • 申請(qǐng)人：
    南京理工大學(xué)
著錄項(xiàng)信息
專利名稱基于Linnik型干涉顯微鏡的同步偏振相移檢焦系統(tǒng)
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201910137473.9申請(qǐng)日期2019-02-25
法律狀態(tài)實(shí)質(zhì)審查申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開/公告日2019-07-05公開/公告號(hào)CN109975820A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)G01S17/08IPC分類號(hào)G;0;1;S;1;7;/;0;8;;;G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分類表>
申請(qǐng)人南京理工大學(xué)申請(qǐng)人地址
江蘇省南京市玄武區(qū)孝陵衛(wèi)200號(hào) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人南京理工大學(xué)當(dāng)前權(quán)利人南京理工大學(xué)
發(fā)明人高志山;畢津慈;于顥彪;袁群;孫一峰
代理機(jī)構(gòu)南京理工大學(xué)專利中心代理人朱沉雁
摘要
本發(fā)明公開了一種基于Linnik型干涉顯微鏡的同步偏振相移檢焦系統(tǒng)，包括白光光源、準(zhǔn)直鏡、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系統(tǒng)、偏振棱鏡、透反射鏡、立方分光棱鏡、兩個(gè)顯微物鏡、參考平面、第二1/4波片、檢偏鏡、聚焦透鏡、分光棱鏡、x方向線陣CCD、y方向線陣CCD。白光光源產(chǎn)生白光，經(jīng)準(zhǔn)直，偏振等手段形成平面偏振光，經(jīng)立方分光棱鏡分光后，分別經(jīng)兩個(gè)顯微物鏡照射到參考平面和被測(cè)樣品，返回光經(jīng)分光棱鏡分光后分別照射到x,y方向線陣CCD生成干涉條紋圖像，根據(jù)圖像離焦像差變化實(shí)現(xiàn)檢焦。激光經(jīng)柯勒照明系統(tǒng)后均勻出射，經(jīng)偏振棱鏡等反射，透過(guò)立方分光棱鏡等直寫樣品。本發(fā)明具有數(shù)據(jù)處理快、實(shí)時(shí)定焦、獲取被測(cè)樣品位置及形貌信息的優(yōu)點(diǎn)。

我瀏覽過(guò)的專利

    專利服務(wù)由北京酷愛智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理公司提供