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一種基于金屬電極的納米線陣列的生長(zhǎng)方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201510194994.X
  • IPC分類號(hào)：B82B3/00;B82Y40/00
  • 申請(qǐng)日期：
    2015-04-22
  • 申請(qǐng)人：
    清華大學(xué)
著錄項(xiàng)信息
專利名稱一種基于金屬電極的納米線陣列的生長(zhǎng)方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201510194994.X申請(qǐng)日期2015-04-22
法律狀態(tài)暫無(wú)申報(bào)國(guó)家暫無(wú)
公開/公告日2015-09-16公開/公告號(hào)CN104909336A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)B82B3/00IPC分類號(hào)B;8;2;B;3;/;0;0;;;B;8;2;Y;4;0;/;0;0查看分類表>
申請(qǐng)人清華大學(xué)申請(qǐng)人地址
江蘇省揚(yáng)州市邗江區(qū)文昌西路440號(hào)國(guó)泰大廈A幢（公安幢號(hào)2幢）第102、113、209、210、211號(hào)及第3層房屋 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人江蘇智能微系統(tǒng)工業(yè)技術(shù)股份有限公司
發(fā)明人任大海;尤政;邊濰;魏福建;郭甜薇
代理機(jī)構(gòu)北京眾合誠(chéng)成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人張文寶
摘要
本發(fā)明屬于微電子工藝領(lǐng)域和儀器儀表技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及特別涉及一種基于金屬電極的納米線陣列的生長(zhǎng)方法。本發(fā)明方法步驟包括：步驟1，在多孔模板兩側(cè)分別制作電極A和電極B，其中電極B需確保不會(huì)堵塞多孔模板的孔洞；所述電極A為濺射得到的金屬電極，所述電極B為濺射得到的金屬電極；步驟2，電極A和電極B分別與電源相連，并浸入裝有電解液的溶液槽中，直至生長(zhǎng)出均勻的納米線陣列。相比于采用化學(xué)機(jī)械拋光來(lái)保證納米線長(zhǎng)度的一致性的方法，本發(fā)明方法對(duì)于納米線的長(zhǎng)度控制更加簡(jiǎn)單易行，不再需要拋光工藝介入。同時(shí)，本發(fā)明所提供的工藝途徑避免了拋光過(guò)程對(duì)多孔模板的損傷，有利于良品率的提高。

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