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氮化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置制造方法

發(fā)明專(zhuān)利無(wú)效專(zhuān)利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN200710084338.X
  • IPC分類(lèi)號(hào)：H01L33/00;H01S5/343
  • 申請(qǐng)日期：
    2007-02-27
  • 申請(qǐng)人：
    夏普株式會(huì)社
著錄項(xiàng)信息
專(zhuān)利名稱(chēng)氮化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置制造方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN200710084338.X申請(qǐng)日期2007-02-27
法律狀態(tài)駁回申報(bào)國(guó)家暫無(wú)
公開(kāi)/公告日2007-09-05公開(kāi)/公告號(hào)CN101030618
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類(lèi)號(hào)H01L33/00
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IPC結(jié)構(gòu)圖譜：
IPC分類(lèi)號(hào)H;0;1;L;3;3;/;0;0;;;H;0;1;S;5;/;3;4;3查看分類(lèi)表>
申請(qǐng)人夏普株式會(huì)社申請(qǐng)人地址
日本大阪府 變更 專(zhuān)利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人夏普株式會(huì)社當(dāng)前權(quán)利人夏普株式會(huì)社
發(fā)明人駒田聰;筆田麻佑子
代理機(jī)構(gòu)北京市柳沈律師事務(wù)所代理人陶鳳波
摘要
本發(fā)明提供了一種具有高的光發(fā)射輸出同時(shí)可以減小正向電壓(Vf)的氮化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置制造方法。本發(fā)明涉及一種氮化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置制造方法，該氮化物半導(dǎo)體發(fā)光裝置包括至少n型氮化物半導(dǎo)體、p型氮化物半導(dǎo)體、以及形成于n型氮化物半導(dǎo)體和p型氮化物半導(dǎo)體之間的有源層(4)；其中所述n型氮化物半導(dǎo)體包括至少n型接觸層(3)和n側(cè)GaN層(101)，n側(cè)GaN層(101)由單個(gè)或多個(gè)非摻雜和/或n型層組成，且該方法包括步驟：使用含氮?dú)獾臍怏w作為載氣通過(guò)金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積形成n側(cè)GaN層(101)，使得n側(cè)GaN層(101)形成于n型接觸層(3)和有源層(4)之間。

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