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圓片級玻璃微腔的批量制備方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201210588915.X
  • IPC分類號：B81C1/00
  • 申請日期：
    2012-12-31
  • 申請人：
    東南大學(xué)
著錄項信息
專利名稱圓片級玻璃微腔的批量制備方法
申請?zhí)?/td>CN201210588915.X申請日期2012-12-31
法律狀態(tài)授權(quán)申報國家暫無
公開/公告日2013-04-03公開/公告號CN103011065A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號B81C1/00IPC分類號B;8;1;C;1;/;0;0查看分類表>
申請人東南大學(xué)申請人地址
江蘇省南京市四牌樓2號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人東南大學(xué)當前權(quán)利人東南大學(xué)
發(fā)明人尚金堂;吉宇;鄒羽
代理機構(gòu)南京經(jīng)緯專利商標代理有限公司代理人張惠忠
摘要
本發(fā)明涉及一種微電子機械系統(tǒng)制造技術(shù)，提供了一種圓片級玻璃微腔的批量制備方法，采用如下技術(shù)方案：一種圓片級玻璃微腔的批量制備方法，包括以下步驟：在硅圓片上刻蝕形成微型凹槽陣列；在上述微型硅凹槽內(nèi)，加入碳酸氫鈣溶液，再蒸發(fā)、加熱，最后獲得碳酸鈣；將玻璃圓片與上述硅圓片在真空或一定壓力下粘結(jié)，使得微型硅凹槽密封；將上述鍵合好的玻璃圓片和硅圓片加熱至玻璃軟化點溫度以上并保溫，待微型凹槽中碳酸鈣放出的氣體產(chǎn)生正壓力使得密封腔體對應(yīng)的玻璃成型后，再冷卻到常溫，退火；去除硅圓片，得到圓片級球形玻璃微腔陣列。本發(fā)明可精確控制碳酸鈣的量，可制備尺寸為亞十微米甚至亞微米等更小的玻璃微腔，不會對超凈間產(chǎn)生影響。

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