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用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法

發(fā)明專利無效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201110265007.2
  • IPC分類號：G01N17/00
  • 申請日期：
    2011-09-08
  • 申請人：
    浙江向日葵光能科技股份有限公司
著錄項信息
專利名稱用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法
申請?zhí)?/td>CN201110265007.2申請日期2011-09-08
法律狀態(tài)駁回申報國家中國
公開/公告日2012-02-08公開/公告號CN102346127A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號G01N17/00IPC分類號G;0;1;N;1;7;/;0;0查看分類表>
申請人浙江向日葵光能科技股份有限公司申請人地址
浙江省紹興市袍江工業(yè)區(qū)三江路浙江向日葵光能科技股份有限公司 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人浙江向日葵光能科技股份有限公司當前權(quán)利人浙江向日葵光能科技股份有限公司
發(fā)明人黃燕
代理機構(gòu)紹興市越興專利事務(wù)所代理人張謙
摘要
本發(fā)明提供了一種用于測量太陽能電池片氮化硅膜致密性的溶液及其使用方法，屬于太陽能電池生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，由如下體積比的組分配制而成的氫氟酸溶液，氫氟酸：水=1~20:10~100。本發(fā)明操作簡單、可隨時取出查看腐蝕情況，并檢測膜厚，易于生產(chǎn)及實驗室用，效率高，使用周期長，對硅片無腐蝕性等特點，能適用于不同尺寸單晶硅或多晶硅太陽能電池片氮化硅膜致密性的測試，適用于大規(guī)模生產(chǎn)中也適用于小批量的生產(chǎn)。用本發(fā)明測試氮化硅膜致密性可以清楚的知道哪個爐管的鍍膜效果比較好，可用于檢測各爐管的鍍膜效果。

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