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一種蒸鍍裝置及其蒸鍍腔體

發(fā)明專利無效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201810821348.5
  • IPC分類號:C23C14/24
  • 申請日期:
    2018-07-24
  • 申請人:
    深圳市華星光電技術有限公司
著錄項信息
專利名稱一種蒸鍍裝置及其蒸鍍腔體
申請?zhí)?/td>CN201810821348.5申請日期2018-07-24
法律狀態(tài)撤回申報國家中國
公開/公告日2018-12-11公開/公告號CN108977772A
優(yōu)先權暫無優(yōu)先權號暫無
主分類號C23C14/24IPC分類號C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分類表>
申請人深圳市華星光電技術有限公司申請人地址
廣東省深圳市光明新區(qū)塘明大道9-2號 變更 專利地址、主體等相關變化,請及時變更,防止失效
權利人深圳市華星光電技術有限公司當前權利人深圳市華星光電技術有限公司
發(fā)明人伍豐偉;張瑞軍;雷勇;鄭成章
代理機構深圳市銘粵知識產權代理有限公司代理人孫偉峰
摘要
本發(fā)明公開了一種蒸鍍裝置及其蒸鍍腔體,所述蒸鍍腔體包括真空腔體、設置于真空腔體的內壁的防著板以及設置于所述防著板的內壁上的發(fā)光裝置,所述發(fā)光裝置包括高壓鈉燈和紫外燈。本發(fā)明的高壓鈉光和紫外光對真空腔體內的水,氧以及有機物進行分解,強光的照射使得真空腔體溫度迅速升高,加快了腔體內的水,氧以及有機物分解速率,從而減少了腔體內水、氧以及有機物去除時間。

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