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一種化學(xué)機(jī)械拋光液及其應(yīng)用

發(fā)明專利無效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201210540804.1
  • IPC分類號：C23F3/06
  • 申請日期：
    2012-12-13
  • 申請人：
    安集微電子（上海）有限公司
著錄項信息
專利名稱一種化學(xué)機(jī)械拋光液及其應(yīng)用
申請?zhí)?/td>CN201210540804.1申請日期2012-12-13
法律狀態(tài)撤回申報國家中國
公開/公告日2014-06-18公開/公告號CN103866327A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號C23F3/06IPC分類號C;2;3;F;3;/;0;6查看分類表>
申請人安集微電子（上海）有限公司申請人地址
上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號5號樓602室 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人安集微電子（上海）有限公司當(dāng)前權(quán)利人安集微電子（上海）有限公司
發(fā)明人尹先升;王雨春
代理機(jī)構(gòu)上海翰鴻律師事務(wù)所代理人李佳銘
摘要
本發(fā)明公開了一種化學(xué)機(jī)械拋光液，其包括研磨顆粒、氧化劑、絡(luò)合劑、腐蝕抑制劑和載體。該拋光液可達(dá)到較高的銅表面拋光去除速率，同時避免或降低拋光后銅表面拋光缺陷的發(fā)生。

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