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疊層膜的制造方法、疊層膜以及使用該疊層膜的半導(dǎo)體裝置的制造方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201480017966.4
  • IPC分類號：C09J7/02;H01L21/301
  • 申請日期：
    2014-03-25
  • 申請人：
    三井化學(xué)東賽璐株式會社
著錄項信息
專利名稱疊層膜的制造方法、疊層膜以及使用該疊層膜的半導(dǎo)體裝置的制造方法
申請?zhí)?/td>CN201480017966.4申請日期2014-03-25
法律狀態(tài)授權(quán)申報國家中國
公開/公告日2015-11-18公開/公告號CN105073931A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號C09J7/02IPC分類號C;0;9;J;7;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;1查看分類表>
申請人三井化學(xué)東賽璐株式會社申請人地址
日本東京都 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人三井化學(xué)東賽璐株式會社當(dāng)前權(quán)利人三井化學(xué)東賽璐株式會社
發(fā)明人林下英司
代理機(jī)構(gòu)北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人金鮮英;涂琪順
摘要
本發(fā)明的目的是提供一種精度良好地預(yù)切割加工成規(guī)定形狀的疊層膜的制造方法，所述疊層膜具有：長條狀脫模膜，及設(shè)置于其上且包含沿著長度方向而相互鄰接的島狀粘著膜A和島狀粘著膜B的多個島狀粘著膜，所述制造方法包括：獲得具有脫模膜與粘著膜的長條狀疊層體的工序；將該疊層體的粘著膜預(yù)切割而獲得第一剝離部的工序；將第一剝離部從脫模膜剝離的工序；第一剝離部包含：島狀粘著膜A的脫模膜的寬度方向一端側(cè)的周緣部A1、島狀粘著膜B的脫模膜的寬度方向另一端側(cè)的周緣部B2、及將周緣部A1與周緣部B2連接的連接部C，且不含島狀粘著膜A的脫模膜的寬度方向另一端側(cè)的周緣部A2與島狀粘著膜B的脫模膜的寬度方向一端側(cè)的周緣部B1。

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