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光柵制造方法及光柵

發(fā)明專利無效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201610059189.0
  • IPC分類號(hào)：G02B5/18
  • 申請(qǐng)日期：
    2016-01-28
  • 申請(qǐng)人：
    青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱光柵制造方法及光柵
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201610059189.0申請(qǐng)日期2016-01-28
法律狀態(tài)駁回申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開/公告日2017-08-04公開/公告號(hào)CN107015300A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)G02B5/18IPC分類號(hào)G;0;2;B;5;/;1;8查看分類表>
申請(qǐng)人青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司申請(qǐng)人地址
山東省青島市嶗山區(qū)株洲路151號(hào) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司當(dāng)前權(quán)利人青島海信寬帶多媒體技術(shù)有限公司
發(fā)明人尚飛;郭海俠;馮曉芳
代理機(jī)構(gòu)北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人楊文娟;黃健
摘要
本發(fā)明提供一種光柵制造方法及光柵，該方法包括：在基板上涂覆電致抗蝕劑，形成第一層模板；在所述第一層模板上涂覆光刻膠，形成第二層模板；對(duì)涂覆有雙層模板的基板進(jìn)行光柵曝光和光柵顯影，在所述第二層模板上形成至少兩條第一縫隙，以使所述第一縫隙底部的第一層模板暴露出來；對(duì)所述第一層模板中暴露出來的部分進(jìn)行濕法腐蝕形成至少兩條第二縫隙，以使所述第二縫隙底部的基板暴露出來；通過干法刻蝕對(duì)所述基板中暴露出來的部分進(jìn)行刻蝕，形成光柵?？梢姡ㄟ^本發(fā)明實(shí)施例提供的光柵制造方法所制造的光柵中縫隙的側(cè)壁表面非常光滑，提高了出光效率。

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