<label id="8euuf"></label>

_{<strong id="8euuf"></strong>}

首頁(yè)專利查詢專利詳情

*來(lái)源于國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局?jǐn)?shù)據(jù)，僅供參考，實(shí)際以國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局展示為準(zhǔn)

一種激光退火裝置和方法

發(fā)明專利有效專利

申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
CN201310098555.X
IPC分類號(hào)：H01L21/268;B23K26/067
申請(qǐng)日期：
2013-03-26
申請(qǐng)人：
上海微電子裝備有限公司

基礎(chǔ)信息

權(quán)利要求

說(shuō)明書

PDF全文

法律信息

引證文獻(xiàn)

著錄項(xiàng)信息

專利名稱	一種激光退火裝置和方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>	CN201310098555.X	申請(qǐng)日期	2013-03-26
法律狀態(tài)	暫無(wú)	申報(bào)國(guó)家	暫無(wú)
公開(kāi)/公告日	2014-10-01	公開(kāi)/公告號(hào)	CN104078339A
優(yōu)先權(quán)	暫無(wú)	優(yōu)先權(quán)號(hào)	暫無(wú)
主分類號(hào)	H01L21/268 ? IPC結(jié)構(gòu)圖譜： H 電學(xué) H9 電學(xué) H01 基本電氣元件 H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件（使用半導(dǎo)體器件的測(cè)量入G01；一般電阻器入H01C；磁體、電感器、變壓器入H01F；一般電容器入H01G；電解型器件入H01G 9/00；電池組、蓄電池入H01M；波導(dǎo)管、諧振器或波導(dǎo)型線路入H01P；線路連接器、匯流器入H01R；受激發(fā)射器件入H01S；機(jī)電諧振器入H03H；揚(yáng)聲器、送話器、留聲機(jī)拾音器或類似的聲機(jī)電傳感器入H04R；一般電光源入H05B；印刷電路、混合電路、電設(shè)備的外殼或結(jié)構(gòu)零部件、電氣元件的組件的制造入H05K；在具有特殊應(yīng)用的電路中半導(dǎo)體器件的使用見(jiàn)該應(yīng)用的小類）〔2〕 H01L21/00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備〔2，8〕 H01L21/02 半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理〔2，8〕 H01L21/04 至少具有一個(gè)躍變勢(shì)壘或表面勢(shì)壘的器件，例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層〔2〕 H01L21/18 器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有雜質(zhì)的AⅢBⅤ族化合物構(gòu)成的半導(dǎo)體，如摻雜材料〔2，6，7〕 H01L21/26 用波或粒子輻射轟擊的〔2〕 H01L21/263 帶有高能輻射的（H01L 21/261優(yōu)先）〔2，6〕 H01L21/268 應(yīng)用電磁輻射的，例如激光輻射〔2〕	IPC分類號(hào)	H;0;1;L;2;1;/;2;6;8;;;B;2;3;K;2;6;/;0;6;7查看分類表>
申請(qǐng)人	上海微電子裝備有限公司	申請(qǐng)人地址	上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)張東路1525號(hào) 變更專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人	上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司	當(dāng)前權(quán)利人	上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司
發(fā)明人	劉國(guó)淦;蘭艷平
代理機(jī)構(gòu)	上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙）	代理人	屈蘅

摘要

本發(fā)明公開(kāi)了一種激光退火裝置和方法，其中，所述裝置包括：激光源、光路部分、光路監(jiān)測(cè)部分和運(yùn)動(dòng)部分；所述激光源為兩個(gè)P極線偏振激光器；兩個(gè)P極線偏振激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)光路部分后，再經(jīng)一光束分離部分處理，之后分別以近布儒斯特角入射在運(yùn)動(dòng)部分的硅片表面。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明采用兩個(gè)P級(jí)線偏振激光器，先將激光器之一轉(zhuǎn)化為S級(jí)偏振光，合成后經(jīng)過(guò)光路處理部分，再將兩束光進(jìn)行分離，并將S級(jí)光束還原成P級(jí)光，最終都以布儒斯特角進(jìn)行入射。這樣既能保證兩束激光均按照布儒斯特角入射，光路處理部分也不會(huì)太復(fù)雜，而激光能量的利用效率會(huì)大大提高。

我瀏覽過(guò)的專利

專利服務(wù)由北京酷愛(ài)智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理公司提供

<li id="boe1d"><thead id="boe1d"></thead></li>

<td id="boe1d"></td>