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一種用于超長管件內(nèi)壁磁控濺射涂層系統(tǒng)及方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN202211199593.X
  • IPC分類號：C23C14/04;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/02
  • 申請日期：
    2022-09-29
  • 申請人：
    上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué);上海名古屋精密工具股份有限公司;上海紫日包裝有限公司
著錄項信息
專利名稱一種用于超長管件內(nèi)壁磁控濺射涂層系統(tǒng)及方法
申請?zhí)?/td>CN202211199593.X申請日期2022-09-29
法律狀態(tài)公開申報國家暫無
公開/公告日2022-12-02公開/公告號CN115418606A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號C23C14/04IPC分類號C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2查看分類表>
申請人上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué);上海名古屋精密工具股份有限公司;上海紫日包裝有限公司申請人地址
上海市奉賢區(qū)海泉路100號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué),上海名古屋精密工具股份有限公司,上海紫日包裝有限公司當(dāng)前權(quán)利人上海應(yīng)用技術(shù)大學(xué),上海名古屋精密工具股份有限公司,上海紫日包裝有限公司
發(fā)明人張而耕;陳強;梁丹丹;周瓊;黃彪;張帆;孫思叡;孫國慶;趙志國;王曉宇;施舒揚
代理機(jī)構(gòu)上海科盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人廖程
摘要
本發(fā)明涉及一種用于超長管件內(nèi)壁磁控濺射涂層系統(tǒng)及方法，包括涂層腔體、旋轉(zhuǎn)支架、加熱管、上蓋體、固定套、管狀靶材、冷卻水管以及環(huán)形磁鐵，所述涂層腔體開設(shè)有抽氣端及進(jìn)氣端，與上蓋體通過O型密封圈密封連接；所述加熱管通過加熱管固定架與涂層腔體內(nèi)壁連接；所述冷卻水管置于管狀靶材內(nèi)部并具有第二進(jìn)水端，管狀靶材具有第二出水端；所述涂層腔體底部開設(shè)有用于安裝旋轉(zhuǎn)支架的通孔，旋轉(zhuǎn)支架與涂層腔體通過旋轉(zhuǎn)密封連接；所述環(huán)形磁鐵均勻固定連接于冷卻水管外表面產(chǎn)生均勻磁場。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明實現(xiàn)了在超長管件內(nèi)壁沉積高性能防護(hù)涂層，解決了管件內(nèi)壁抗磨、防腐性能差等技術(shù)難題。

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