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一種基于可自還原銀離子漿料的低溫鍵合方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201810671279.4
  • IPC分類號:H01L21/768
  • 申請日期:
    2018-06-26
  • 申請人:
    華中科技大學(xué)
著錄項信息
專利名稱一種基于可自還原銀離子漿料的低溫鍵合方法
申請?zhí)?/td>CN201810671279.4申請日期2018-06-26
法律狀態(tài)實質(zhì)審查申報國家中國
公開/公告日2018-11-23公開/公告號CN108878351A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號H01L21/768
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IPC結(jié)構(gòu)圖譜:
IPC分類號H;0;1;L;2;1;/;7;6;8查看分類表>
申請人華中科技大學(xué)申請人地址
湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化,請及時變更,防止失效
權(quán)利人華中科技大學(xué)當前權(quán)利人華中科技大學(xué)
發(fā)明人湯自榮;李俊杰;馮辰;史鐵林;梁琦;廖廣蘭
代理機構(gòu)華中科技大學(xué)專利中心代理人張彩錦;曹葆青
摘要
本發(fā)明屬于低溫鍵合技術(shù)領(lǐng)域,并具體公開了一種基于可自還原銀離子漿料的低溫鍵合方法,其包括如下步驟:配制可自還原的銀離子漿料;將可自還原的銀離子漿料均勻涂覆至待鍵合基底的表面;在一定的鍵合溫度、鍵合壓力及鍵合時間下實現(xiàn)待鍵合基底的鍵合。本發(fā)明利用銀離子自還原形成金屬銀實現(xiàn)互連鍵合,相較于使用銀納米顆粒漿料鍵合,具有無需制備銀納米顆粒、漿料分散性好、可均勻涂覆、低成本、易儲存等優(yōu)勢,在電子封裝技術(shù)中具有較好的應(yīng)用前景。

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