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一種用于等離子刻蝕的夾持裝置

實(shí)用新型專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201922425095.2
  • IPC分類號(hào)：H01J37/32;H01L31/18;H01L21/67
  • 申請(qǐng)日期：
    2019-12-30
  • 申請(qǐng)人：
    江蘇國(guó)源激光智能裝備制造有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱一種用于等離子刻蝕的夾持裝置
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201922425095.2申請(qǐng)日期2019-12-30
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開(kāi)/公告日公開(kāi)/公告號(hào)
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)H01J37/32IPC分類號(hào)H;0;1;J;3;7;/;3;2;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分類表>
申請(qǐng)人江蘇國(guó)源激光智能裝備制造有限公司申請(qǐng)人地址
江蘇省宿遷市宿城經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)西片區(qū)激光產(chǎn)業(yè)園二期C5幢廠房 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人江蘇國(guó)源激光智能裝備制造有限公司當(dāng)前權(quán)利人江蘇國(guó)源激光智能裝備制造有限公司
發(fā)明人陳正;劉昭;周亮亮
代理機(jī)構(gòu)北京化育知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人暫無(wú)
摘要
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于等離子刻蝕的夾持裝置，包括上底板、下底板和螺桿，螺桿有兩根，下底板兩側(cè)的中心線上分別固定連接有一個(gè)第一連接部，兩個(gè)第一連接部分別與兩根螺桿的底端固定連接，上底板兩側(cè)的中心線上分別固定連接有一個(gè)第二連接部，兩個(gè)第二連接部上分別設(shè)有一個(gè)通孔，通孔與螺桿配合，上底板通過(guò)其兩側(cè)第二連接部上的通孔套設(shè)在螺桿上，兩根螺桿的頂端分別設(shè)有一個(gè)螺母，上底板的底面四個(gè)角分別設(shè)有一個(gè)壓力傳感器，上底板的上端面鑲嵌有壓力顯示器，壓力顯示器與壓力傳感器電性連接，壓力傳感器底面固定連接有壓板，該夾緊裝置很好的解決了在等離子刻蝕中由于無(wú)法判斷夾持的壓力而導(dǎo)致刻蝕效果不理想甚至損壞硅片的問(wèn)題。

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