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一種不同尺寸異質(zhì)材料混合集成的方法

發(fā)明專(zhuān)利有效專(zhuān)利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201910809444.2
  • IPC分類(lèi)號(hào)：H01L21/18
  • 申請(qǐng)日期：
    2019-08-29
  • 申請(qǐng)人：
    長(zhǎng)春長(zhǎng)光圓辰微電子技術(shù)有限公司
著錄項(xiàng)信息
專(zhuān)利名稱(chēng)一種不同尺寸異質(zhì)材料混合集成的方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201910809444.2申請(qǐng)日期2019-08-29
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開(kāi)/公告日2019-11-29公開(kāi)/公告號(hào)CN110517955A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類(lèi)號(hào)H01L21/18IPC分類(lèi)號(hào)H;0;1;L;2;1;/;1;8查看分類(lèi)表>
申請(qǐng)人長(zhǎng)春長(zhǎng)光圓辰微電子技術(shù)有限公司申請(qǐng)人地址
吉林省長(zhǎng)春市經(jīng)開(kāi)區(qū)營(yíng)口路18號(hào) 變更 專(zhuān)利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人長(zhǎng)春長(zhǎng)光圓辰微電子技術(shù)有限公司當(dāng)前權(quán)利人長(zhǎng)春長(zhǎng)光圓辰微電子技術(shù)有限公司
發(fā)明人程禹;李彥慶;趙東旭;陳艷明;方小磊;劉佳
代理機(jī)構(gòu)長(zhǎng)春市吉利專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙）代理人李曉莉
摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種不同尺寸異質(zhì)材料混合集成的方法，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，該方法通過(guò)使用模具完成2英寸晶圓與8英寸晶圓的鍵合，同時(shí)利用機(jī)械對(duì)準(zhǔn)方式與光學(xué)對(duì)準(zhǔn)方式相結(jié)合，完成兩次鍵合工藝，在鍵合工藝之間使用8英寸生產(chǎn)機(jī)臺(tái)進(jìn)行光刻等工藝，實(shí)現(xiàn)不同尺寸異質(zhì)材料的混合集成，并可以保證對(duì)準(zhǔn)精度。

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