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用于制備砷化鎵襯底的方法、砷化鎵襯底及其用途

發(fā)明專利有效專利

申請?zhí)枺?/span>
CN201480004737.9
IPC分類號(hào)：H01L21/02;G01N21/21
申請日期：
2014-02-12
申請人：
弗賴貝格化合物原料有限公司

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法律信息

引證文獻(xiàn)

著錄項(xiàng)信息

專利名稱	用于制備砷化鎵襯底的方法、砷化鎵襯底及其用途
申請?zhí)?/td>	CN201480004737.9	申請日期	2014-02-12
法律狀態(tài)	授權(quán)	申報(bào)國家	中國
公開/公告日	2015-10-07	公開/公告號(hào)	CN104969328A
優(yōu)先權(quán)	暫無	優(yōu)先權(quán)號(hào)	暫無
主分類號(hào)	H01L21/02 ? IPC結(jié)構(gòu)圖譜： H 電學(xué) H9 電學(xué) H01 基本電氣元件 H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件（使用半導(dǎo)體器件的測量入G01；一般電阻器入H01C；磁體、電感器、變壓器入H01F；一般電容器入H01G；電解型器件入H01G 9/00；電池組、蓄電池入H01M；波導(dǎo)管、諧振器或波導(dǎo)型線路入H01P；線路連接器、匯流器入H01R；受激發(fā)射器件入H01S；機(jī)電諧振器入H03H；揚(yáng)聲器、送話器、留聲機(jī)拾音器或類似的聲機(jī)電傳感器入H04R；一般電光源入H05B；印刷電路、混合電路、電設(shè)備的外殼或結(jié)構(gòu)零部件、電氣元件的組件的制造入H05K；在具有特殊應(yīng)用的電路中半導(dǎo)體器件的使用見該應(yīng)用的小類）〔2〕 H01L21/00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備〔2，8〕 H01L21/02 半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理〔2，8〕	IPC分類號(hào)	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;G;0;1;N;2;1;/;2;1查看分類表>
申請人	弗賴貝格化合物原料有限公司	申請人地址	德國弗賴貝格變更專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人	弗賴貝格化合物原料有限公司	當(dāng)前權(quán)利人	弗賴貝格化合物原料有限公司
發(fā)明人	W·弗利格爾;C·克萊門特;C·維勞爾;M·舍費(fèi)爾奇甘;A·克萊茵韋希特;S·艾希勒;B·韋納特;M·梅德爾
代理機(jī)構(gòu)	中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利商標(biāo)事務(wù)所	代理人	鄒智弘

摘要

本發(fā)明涉及用于制備經(jīng)表面處理的砷化鎵襯底的新方法，和新提供的砷化鎵襯底及其用途。根據(jù)本發(fā)明的方法的改進(jìn)基于特殊的最終表面處理，其中使砷化鎵襯底的至少一個(gè)表面在干燥條件下借助UV輻照和/或臭氧氣體進(jìn)行氧化處理，使砷化鎵襯底的至少一個(gè)表面與至少一種液體介質(zhì)接觸，以及馬蘭葛尼式干燥所述砷化鎵襯底。根據(jù)本發(fā)明提供的砷化鎵襯底顯示出迄今未獲得的表面性質(zhì)，尤其是所述表面性質(zhì)之均勻性，其可借助光學(xué)表面分析儀檢測，尤其是借助橢圓偏振側(cè)向襯底映射用于光學(xué)不接觸定量表征。

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