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*來(lái)源于國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局?jǐn)?shù)據(jù)，僅供參考，實(shí)際以國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局展示為準(zhǔn)

一種高密度等離子體工藝裝置

實(shí)用新型專利無(wú)效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN95209870.9
  • IPC分類號(hào)：--
  • 申請(qǐng)日期：
    1995-05-11
  • 申請(qǐng)人：
    中國(guó)科學(xué)院微電子中心
著錄項(xiàng)信息
專利名稱一種高密度等離子體工藝裝置
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN95209870.9申請(qǐng)日期1995-05-11
法律狀態(tài)權(quán)利終止申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開(kāi)/公告日公開(kāi)/公告號(hào)
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)暫無(wú)IPC分類號(hào)暫無(wú)查看分類表>
申請(qǐng)人中國(guó)科學(xué)院微電子中心申請(qǐng)人地址
北京市東城區(qū)大取燈胡同2號(hào) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人中國(guó)科學(xué)院微電子中心當(dāng)前權(quán)利人中國(guó)科學(xué)院微電子中心
發(fā)明人劉訓(xùn)春;葉甜春;李曉民;王守武;錢鶴;徐維江;曹振亞;張學(xué)
代理機(jī)構(gòu)中科專利代理有限責(zé)任公司代理人盧紀(jì)
摘要
本實(shí)用新型公開(kāi)了一種由低壓氣體腔的腔座、絕緣罩以及射頻線圈等部分組成，用于半導(dǎo)體精細(xì)加工的高密度等離子體工藝裝置。該裝置采用多階層的塔狀絕緣罩體，并使連續(xù)連接的一組多匝射頻線圈按上下順序圍繞在塔狀罩體的各階層外壁上，其頂層與最下層線圈的線端經(jīng)匹配電路與一射頻電源相連。這樣的裝置能在更低氣壓范圍內(nèi)穩(wěn)定地產(chǎn)生高密度等離子體。

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