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*來源于國家知識產(chǎn)權(quán)局數(shù)據(jù)，僅供參考，實際以國家知識產(chǎn)權(quán)局展示為準

一種光罩支架自動調(diào)平機構(gòu)

實用新型專利有效專利

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CN201420034097.3
IPC分類號：G03F7/20;G03F9/00
申請日期：
2014-01-21
申請人：
保定來福光電科技有限公司

基礎(chǔ)信息

權(quán)利要求

說明書

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法律信息

引證文獻

著錄項信息

專利名稱	一種光罩支架自動調(diào)平機構(gòu)
申請?zhí)?/td>	CN201420034097.3	申請日期	2014-01-21
法律狀態(tài)	授權(quán)	申報國家	中國
公開/公告日		公開/公告號
優(yōu)先權(quán)	暫無	優(yōu)先權(quán)號	暫無
主分類號	G03F7/20 ? IPC結(jié)構(gòu)圖譜： G 物理 G0 儀器 G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕 G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設備（照相排版裝置入B41B；為攝影用的感光材料或處理入G03C；電記錄、感光層或處理入G03G） G03F7/00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設備（用于特殊工藝的光致抗蝕劑結(jié)構(gòu)見相關(guān)的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/20 曝光及其設備（復制用照相印制設備入G03B 27/00）〔4〕	IPC分類號	G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0查看分類表>
申請人	保定來福光電科技有限公司	申請人地址	河北省保定市容城縣容城城東開發(fā)區(qū)容津路3號變更專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人	保定來福光電科技有限公司	當前權(quán)利人	保定來福光電科技有限公司
發(fā)明人	張惠光
代理機構(gòu)	北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙）	代理人	湯東鳳

摘要

本實用新型公開了一種光罩支架自動調(diào)平機構(gòu)，包括四邊形基座和光罩支架，光罩支架位于四邊形基座上表面，在四邊形基座的三條邊框下方安裝有伺服電機和支撐底座，伺服電機的輸出軸固定套接于偏心軸的一端，偏心軸中部外側(cè)套接有第一軸承和第二軸承，偏心軸另一端固定在第三軸承上，第三軸承固定在支撐底座上，頂塊一端頂托在所述第一軸承上，另一端穿過四邊形底座固定在光罩支架上，第二軸承上方安裝有連接軸，連接軸與定位彈簧一端相連，定位彈簧另一端穿過四邊形底座固定在光罩支架上。該機構(gòu)能夠自動對光罩支架進行調(diào)平，操作簡單方便。

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