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二維納米柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及其光柵測(cè)量方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201710455030.5
  • IPC分類號(hào)：G01B11/02;G01B11/00
  • 申請(qǐng)日期：
    2017-06-16
  • 申請(qǐng)人：
    清華大學(xué)
著錄項(xiàng)信息
專利名稱二維納米柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及其光柵測(cè)量方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201710455030.5申請(qǐng)日期2017-06-16
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開/公告日2017-11-07公開/公告號(hào)CN107328366A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)G01B11/02IPC分類號(hào)G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0查看分類表>
申請(qǐng)人清華大學(xué)申請(qǐng)人地址
北京市海淀區(qū)清華園 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人清華大學(xué)當(dāng)前權(quán)利人清華大學(xué)
發(fā)明人張震;楊曉東;崔夢(mèng)嘉;閆鵬
代理機(jī)構(gòu)北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙）代理人黃德海
摘要
本發(fā)明公開了一種二維納米柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)及其光柵測(cè)量方法，所述二維納米柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)包括：基座；終端平臺(tái)；X向連接桿和Y向連接桿；兩個(gè)X向柔性導(dǎo)向件；兩個(gè)Y向柔性導(dǎo)向件；兩個(gè)X向柔性解耦件；兩個(gè)Y向柔性解耦件；X向驅(qū)動(dòng)器和Y向驅(qū)動(dòng)器；X向光柵傳感器；Y向光柵傳感器。根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的二維納米柔性運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有精度高、成本低和安裝使用方便等優(yōu)點(diǎn)。

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