首頁專利查詢專利詳情

*來源于國家知識產(chǎn)權(quán)局?jǐn)?shù)據(jù)，僅供參考，實際以國家知識產(chǎn)權(quán)局展示為準(zhǔn)

一種涂膠顯影機晶圓高精度定位裝置

實用新型專利有效專利

申請?zhí)枺?/span>
CN202020527783.X
IPC分類號：G03F7/16;G03F7/26
申請日期：
2020-04-13
申請人：
嘉興晶裝電子科技股份有限公司

基礎(chǔ)信息

權(quán)利要求

說明書

PDF全文

法律信息

引證文獻

著錄項信息

專利名稱	一種涂膠顯影機晶圓高精度定位裝置
申請?zhí)?/td>	CN202020527783.X	申請日期	2020-04-13
法律狀態(tài)	授權(quán)	申報國家	暫無
公開/公告日		公開/公告號
優(yōu)先權(quán)	暫無	優(yōu)先權(quán)號	暫無
主分類號	G03F7/16 ? IPC結(jié)構(gòu)圖譜： G 物理 G0 儀器 G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕 G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備（照相排版裝置入B41B；為攝影用的感光材料或處理入G03C；電記錄、感光層或處理入G03G） G03F7/00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備（用于特殊工藝的光致抗蝕劑結(jié)構(gòu)見相關(guān)的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/16 涂層處理及其設(shè)備（用于基底材料涂層一般入B05；用于攝影目的而施加到基底上的感光成分入G03C 1/74）	IPC分類號	G;0;3;F;7;/;1;6;;;G;0;3;F;7;/;2;6查看分類表>
申請人	嘉興晶裝電子科技股份有限公司	申請人地址	浙江省嘉興市嘉善縣羅星街道歸谷園區(qū)創(chuàng)業(yè)中心A座433室變更專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人	嘉興晶裝電子科技股份有限公司	當(dāng)前權(quán)利人	嘉興晶裝電子科技股份有限公司
發(fā)明人	田英干
代理機構(gòu)	嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙）	代理人	暫無

摘要

本實用新型公開了一種涂膠顯影機晶圓高精度定位裝置，包括底座，所述底座的左右兩側(cè)均固定連接有支撐板且支撐板的頂端固定連接有外殼，所述外殼的內(nèi)部右側(cè)端固定安裝有電機且電機的頂端安裝有絲桿，所述絲桿外側(cè)壁上齒扣連接有絲桿套且絲桿套外側(cè)壁上固定安裝有軸承套，所述軸承套底端安裝有C/S手臂，所述底座頂端固定連接有固定板且固定板的頂端最左側(cè)固定連接有圓弧邊A，所述固定板的頂端右側(cè)固定連接有空腔室且空腔室的右側(cè)端固定安裝有電動充氣泵，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、設(shè)計新穎，在固定晶圓過程中操作十分簡單、步驟少，大大節(jié)省了人力，并且C/S手臂定位十分便捷，而且準(zhǔn)確度高。

我瀏覽過的專利

專利服務(wù)由北京酷愛智慧知識產(chǎn)權(quán)代理公司提供

<rp id="34cpo"></rp>

<sup id="34cpo"></sup>