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TFT陣列襯底、其制造方法以及顯示裝置

發(fā)明專利無效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN200710110268.0
  • IPC分類號(hào)：H01L29/786;H01L27/12;H01L21/336;H01L21/84;G02F1/1362
  • 申請(qǐng)日期：
    2007-06-08
  • 申請(qǐng)人：
    三菱電機(jī)株式會(huì)社
著錄項(xiàng)信息
專利名稱TFT陣列襯底、其制造方法以及顯示裝置
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN200710110268.0申請(qǐng)日期2007-06-08
法律狀態(tài)權(quán)利終止申報(bào)國家中國
公開/公告日2007-12-12公開/公告號(hào)CN101087004
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)H01L29/786
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IPC結(jié)構(gòu)圖譜：
IPC分類號(hào)H;0;1;L;2;9;/;7;8;6;;;H;0;1;L;2;7;/;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6;;;H;0;1;L;2;1;/;8;4;;;G;0;2;F;1;/;1;3;6;2查看分類表>
申請(qǐng)人三菱電機(jī)株式會(huì)社申請(qǐng)人地址
日本東京都 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人三菱電機(jī)株式會(huì)社當(dāng)前權(quán)利人三菱電機(jī)株式會(huì)社
發(fā)明人柴田英次
代理機(jī)構(gòu)中國專利代理（香港）有限公司代理人王岳;王忠忠
摘要
提供一種具有優(yōu)良特性的TFT陣列襯底、其制造方法以及使用該襯底的顯示裝置。本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的TFT陣列襯底是具有配置在源極區(qū)域(41)和漏極區(qū)域(42)之間的溝道區(qū)域(43)的TFT陣列襯底，包括形成在襯底(1)上的柵電極(2)、以履蓋柵電極(2)的方式形成的柵極絕緣膜(3)、隔著柵極絕緣膜(3)設(shè)置在柵電極(2)上的半導(dǎo)體層(30)、具有設(shè)置在半導(dǎo)體層(30)的源極區(qū)域(41)上的金屬膜的源電極(6)、具有設(shè)置在半導(dǎo)體層(30)的漏極區(qū)域(42)上的金屬膜的漏電極(7)、配置在源電極(6)與源極區(qū)域(41)之間以及漏電極(7)和漏極區(qū)域(42)之間的透明導(dǎo)電膜(10)，半導(dǎo)體層(30)的從透明導(dǎo)電膜(10)露出的部分的剖面是正錐形形狀。

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