加載中...
首頁專利查詢專利詳情

*來源于國家知識產(chǎn)權(quán)局數(shù)據(jù),僅供參考,實際以國家知識產(chǎn)權(quán)局展示為準

具有增強的柵極接觸件和閾值電壓的柵極結(jié)構(gòu)及其方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201810790528.1
  • IPC分類號:H01L21/8234;H01L27/088
  • 申請日期:
    2018-07-18
  • 申請人:
    臺灣積體電路制造股份有限公司
著錄項信息
專利名稱具有增強的柵極接觸件和閾值電壓的柵極結(jié)構(gòu)及其方法
申請?zhí)?/td>CN201810790528.1申請日期2018-07-18
法律狀態(tài)授權(quán)申報國家中國
公開/公告日2019-06-04公開/公告號CN109841569A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號H01L21/8234
?
IPC結(jié)構(gòu)圖譜:
IPC分類號H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;4;;;H;0;1;L;2;7;/;0;8;8查看分類表>
申請人臺灣積體電路制造股份有限公司申請人地址
中國臺灣新竹 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化,請及時變更,防止失效
權(quán)利人臺灣積體電路制造股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人臺灣積體電路制造股份有限公司
發(fā)明人劉昱廷;彭彥明;何偉碩
代理機構(gòu)北京德恒律治知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人章社杲;李偉
摘要
該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)包括具有第一區(qū)和與第一區(qū)相鄰的第二區(qū)的半導(dǎo)體襯底;形成在第一區(qū)內(nèi)的半導(dǎo)體襯底上的第一鰭;設(shè)置在第二區(qū)內(nèi)的半導(dǎo)體襯底上的第一淺溝槽隔離(STI)部件;以及第一柵極堆疊件,包括直接設(shè)置在第一區(qū)內(nèi)的第一鰭上的第一區(qū)段和延伸至第二區(qū)內(nèi)的第一STI部件的第二區(qū)段。第一柵極堆疊件的第二區(qū)段包括依次堆疊的低電阻金屬(LRM)層、第一氮化鉭鈦層、氮化鈦鋁層和第二氮化鉭鈦層。第一區(qū)內(nèi)的第一柵極堆疊件的第一區(qū)段沒有LRM層。本發(fā)明實施例涉及具有增強的柵極接觸件和閾值電壓的柵極結(jié)構(gòu)及其方法。

我瀏覽過的專利

專利服務(wù)由北京酷愛智慧知識產(chǎn)權(quán)代理公司提供