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液相外延生長薄膜的襯底夾具

實用新型專利無效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN03228088.2
  • IPC分類號：--
  • 申請日期：
    2003-01-10
  • 申請人：
    中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
著錄項信息
專利名稱液相外延生長薄膜的襯底夾具
申請?zhí)?/td>CN03228088.2申請日期2003-01-10
法律狀態(tài)放棄專利權(quán)申報國家中國
公開/公告日公開/公告號
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號暫無IPC分類號暫無查看分類表>
申請人中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所申請人地址
上海市800－211郵政信箱 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所當(dāng)前權(quán)利人中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
發(fā)明人趙廣軍;何曉明;徐軍;王海麗;劉軍芳
代理機構(gòu)上海新天專利代理有限公司代理人張澤純
摘要
一種用于液相外延薄膜生長的襯底夾其，其特征在于它是由一襯底夾盤的頂面過圓心垂直向上接設(shè)一連接桿構(gòu)成，該襯底夾盤的底面設(shè)有半圓弧形包邊形成一襯底定位腔，與該半圓弧形包邊相對在該襯底夾盤上設(shè)有定位通孔，該連接桿上端還設(shè)有一通孔。本實用新型的液相外延薄膜生長襯底夾具使襯底在溶液中可作高速旋轉(zhuǎn)，既能起到攪拌作用，使襯底周圍各處溶液濃度更趨于平衡和均勻，又可解決溫場不均勻帶來的生長差異。本實用新型液相外延薄膜生長的襯底夾具結(jié)構(gòu)簡單，安裝方便，使用可靠。

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