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一種高純硫酸的連續(xù)生產(chǎn)方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN202011586083.9
  • IPC分類號(hào)：C01B17/90
  • 申請(qǐng)日期：
    2020-12-29
  • 申請(qǐng)人：
    蘇州香榭軒表面工程技術(shù)咨詢有限公司;江蘇捷創(chuàng)新材料有限責(zé)任公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱一種高純硫酸的連續(xù)生產(chǎn)方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN202011586083.9申請(qǐng)日期2020-12-29
法律狀態(tài)暫無(wú)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開(kāi)/公告日2021-01-29公開(kāi)/公告號(hào)CN112279220A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)C01B17/90IPC分類號(hào)C;0;1;B;1;7;/;9;0查看分類表>
申請(qǐng)人蘇州香榭軒表面工程技術(shù)咨詢有限公司;江蘇捷創(chuàng)新材料有限責(zé)任公司申請(qǐng)人地址
江蘇省宿遷市蘇宿工業(yè)園區(qū)普陀山大道10號(hào)辦公樓3樓 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人江蘇捷創(chuàng)新材料有限責(zé)任公司當(dāng)前權(quán)利人江蘇捷創(chuàng)新材料有限責(zé)任公司
發(fā)明人王濤;王簫;趙繼舟;張雪梅;徐念;徐剛;徐浩;劉松
代理機(jī)構(gòu)蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司代理人汪青;向亞蘭
摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種高純硫酸的連續(xù)生產(chǎn)方法，包括依次進(jìn)行的發(fā)煙硫酸的解析工序、三氧化硫的精制工序、三氧化硫的吸收工序以及真空等離子體脫二氧化硫工序，通過(guò)解析獲得二氧化硫含量低于0.4%的三氧化硫，通過(guò)精制使其中單項(xiàng)金屬陽(yáng)離子含量低于5ppt、二氧化硫低于20ppm；在脫二氧化硫工序中，采用裝有填料并配備等離子激發(fā)裝置的脫氣塔，將硫酸自上而下通過(guò)脫氣塔，使硫酸在填料表面形成降膜，同時(shí)自下而上通入氧氣和使脫氣塔內(nèi)形成氧?二氧化硫等離子體，最終獲得高純硫酸。本發(fā)明生產(chǎn)效率高，能耗低，污染物排放少、工藝穩(wěn)定性和安全性好，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定，產(chǎn)品品質(zhì)好，可用于高集成度芯片的清洗和刻蝕。

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