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*來源于國家知識產權局數據,僅供參考,實際以國家知識產權局展示為準

一種線性蒸發(fā)源以及蒸鍍設備

實用新型專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201320636959.5
  • IPC分類號:C23C14/24
  • 申請日期:
    2013-10-15
  • 申請人:
    上海和輝光電有限公司
著錄項信息
專利名稱一種線性蒸發(fā)源以及蒸鍍設備
申請?zhí)?/td>CN201320636959.5申請日期2013-10-15
法律狀態(tài)授權申報國家中國
公開/公告日公開/公告號
優(yōu)先權暫無優(yōu)先權號暫無
主分類號C23C14/24IPC分類號C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分類表>
申請人上海和輝光電有限公司申請人地址
上海市金山區(qū)金山工業(yè)區(qū)大道100號1幢二樓208室 變更 專利地址、主體等相關變化,請及時變更,防止失效
權利人上海和輝光電有限公司當前權利人上海和輝光電有限公司
發(fā)明人蘇志瑋;王演隆
代理機構隆天國際知識產權代理有限公司代理人黃嵩泉;呂俊清
摘要
本實用新型揭示一種線性蒸發(fā)源以及蒸鍍設備。所述線性蒸發(fā)源包括:固定塊;坩鍋,所述坩鍋固定于所述固定塊之間,其內部裝有有機材料,對待加工基板進行鍍膜;坩鍋斷熱塊,所述坩鍋斷熱塊位于所述坩鍋的兩側;側蓋板,所述側蓋板位于所述坩鍋斷熱塊的外側;其特征在于,所述坩鍋斷熱塊上設有至少一個導向栓,所述坩鍋的側面設有與所述導向栓數量相同且位置對應的鉆孔,運行時,每根所述導向栓均插入相對應的所述鉆孔內,所述側蓋板裝于所述線性蒸發(fā)源的最外側。

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