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基于重力梯度扭矩測(cè)量的隧道式MEMS星載姿態(tài)敏感器

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN202010085996.6
  • IPC分類號(hào)：G01C21/16;G01C21/20;G01C21/24
  • 申請(qǐng)日期：
    2020-02-11
  • 申請(qǐng)人：
    清華大學(xué)
著錄項(xiàng)信息
專利名稱基于重力梯度扭矩測(cè)量的隧道式MEMS星載姿態(tài)敏感器
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN202010085996.6申請(qǐng)日期2020-02-11
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開/公告日2020-06-05公開/公告號(hào)CN111238475A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)G01C21/16IPC分類號(hào)G;0;1;C;2;1;/;1;6;;;G;0;1;C;2;1;/;2;0;;;G;0;1;C;2;1;/;2;4查看分類表>
申請(qǐng)人清華大學(xué)申請(qǐng)人地址
北京市海淀區(qū)清華大學(xué)精密儀器系9003樓2208室 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人清華大學(xué)當(dāng)前權(quán)利人清華大學(xué)
發(fā)明人趙嘉昊;曹亞陸;邊濰
代理機(jī)構(gòu)北京國(guó)林貿(mào)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人李富華
摘要
本發(fā)明屬于角度測(cè)量的慣性傳感器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種基于重力梯度扭矩測(cè)量的隧道式MEMS星載姿態(tài)敏感器。該隧道式MEMS星載姿態(tài)敏感器由敏感模塊、隧道式微小位移檢測(cè)模塊組成；其中，敏感模塊由質(zhì)量塊和柔性梁組成；隧道式微小位移檢測(cè)模塊由探針及針尖、隧道電極、步進(jìn)電機(jī)壓電陶瓷模塊、反饋線組成；并整體置于隔離罩內(nèi)；步進(jìn)電機(jī)壓電陶瓷模塊通過(guò)反饋線連接到直流電源E，然后隔離罩固定在地面三軸轉(zhuǎn)臺(tái)上面，地面三軸轉(zhuǎn)臺(tái)繞轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，形成重力梯度扭矩測(cè)量系統(tǒng)。本發(fā)明具有高精度的微小位移檢測(cè)功能，能提高基于重力梯度扭矩測(cè)量的MEMS星載姿態(tài)敏感器的測(cè)角精度，將現(xiàn)有技術(shù)中的測(cè)角精度從10度提高至4度。

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