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拋光混洗機(jī)

實(shí)用新型專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201721687298.3
  • IPC分類號：B08B3/08;B08B3/10
  • 申請日期：
    2017-12-06
  • 申請人：
    常州科沛達(dá)清洗技術(shù)股份有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱拋光混洗機(jī)
申請?zhí)?/td>CN201721687298.3申請日期2017-12-06
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國家中國
公開/公告日公開/公告號
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號B08B3/08IPC分類號B;0;8;B;3;/;0;8;;;B;0;8;B;3;/;1;0查看分類表>
申請人常州科沛達(dá)清洗技術(shù)股份有限公司申請人地址
江蘇省常州市武進(jìn)區(qū)潞城街道富民路299號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人常州科沛達(dá)清洗技術(shù)股份有限公司當(dāng)前權(quán)利人常州科沛達(dá)清洗技術(shù)股份有限公司
發(fā)明人李繼忠;李述周
代理機(jī)構(gòu)常州市科誼專利代理事務(wù)所代理人孫彬
摘要
本實(shí)用新型公開了一種拋光混洗機(jī)，包括主框架，所述主框架內(nèi)設(shè)有至少一組混洗裝置，所述主框架外側(cè)設(shè)有用于混洗裝置的混洗液的自動配液箱，所述主框架上設(shè)有控制混洗裝置的儀表裝置，每組混洗裝置包括酸槽、快排沖洗槽和拋動裝置，所述拋動裝置使得工件花籃在所述快排沖洗槽內(nèi)進(jìn)行升降運(yùn)動，所述主框架內(nèi)還設(shè)有回收槽，所述回收槽通過導(dǎo)管與所述酸槽連接。本實(shí)用新型彌補(bǔ)了國內(nèi)藍(lán)寶石晶圓片襯底清洗設(shè)備的空白，降低對進(jìn)口設(shè)備的依賴，降低藍(lán)寶石生產(chǎn)企業(yè)的成本。

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