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用于抗蝕劑的樹脂、正性抗蝕劑組合物和形成抗蝕劑圖案的方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN200480022815.4
  • IPC分類號(hào)：C08F220/18;G03F7/039;H01L21/30
  • 申請(qǐng)日期：
    2004-08-10
  • 申請(qǐng)人：
    東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社
著錄項(xiàng)信息
專利名稱用于抗蝕劑的樹脂、正性抗蝕劑組合物和形成抗蝕劑圖案的方法
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN200480022815.4申請(qǐng)日期2004-08-10
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國家中國
公開/公告日2006-09-13公開/公告號(hào)CN1832971
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)C08F220/18IPC分類號(hào)C;0;8;F;2;2;0;/;1;8;;;G;0;3;F;7;/;0;3;9;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0查看分類表>
申請(qǐng)人東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社申請(qǐng)人地址
日本神奈川縣 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社當(dāng)前權(quán)利人東京應(yīng)化工業(yè)株式會(huì)社
發(fā)明人林亮太郎;羽田英夫;巖井武
代理機(jī)構(gòu)中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司代理人陳長會(huì)
摘要
一種具有優(yōu)異的分辨率和景深的正性抗蝕劑組合物，一種用于在所述正性抗蝕劑組合物中使用的抗蝕劑的樹脂，以及一種使用所述正性抗蝕劑組合物形成抗蝕劑圖案的方法。所述用于抗蝕劑的樹脂包括衍生自(α-低級(jí)烷基)丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元(a)作為主要組分，其中這些結(jié)構(gòu)單元(a)包括衍生自含酸可離解的溶解抑制基團(tuán)的(α-低級(jí)烷基)丙烯酸酯以及包含含內(nèi)酯的單環(huán)基團(tuán)的(α-低級(jí)烷基)丙烯酸酯的結(jié)構(gòu)單元(a1)，并且所述結(jié)構(gòu)單元(a1)包括如下所示通式(a1-1)表示的結(jié)構(gòu)單元[其中，R表示氫原子或低級(jí)烷基，而R11表示含單環(huán)脂肪族烴基但不含多環(huán)脂肪族烴基的酸可離解的溶解抑制基團(tuán)]。

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