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粘接帶粘貼裝置

發(fā)明專利無效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN200910117809.1
  • IPC分類號(hào)：H01L21/683
  • 申請(qǐng)日期：
    2009-02-25
  • 申請(qǐng)人：
    日東電工株式會(huì)社
著錄項(xiàng)信息
專利名稱粘接帶粘貼裝置
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN200910117809.1申請(qǐng)日期2009-02-25
法律狀態(tài)權(quán)利終止申報(bào)國家中國
公開/公告日2009-09-02公開/公告號(hào)CN101521173
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)H01L21/683IPC分類號(hào)H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分類表>
申請(qǐng)人日東電工株式會(huì)社申請(qǐng)人地址
日本大阪府 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人日東電工株式會(huì)社當(dāng)前權(quán)利人日東電工株式會(huì)社
發(fā)明人山本雅之;宮本三郎
代理機(jī)構(gòu)北京林達(dá)劉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙）代理人劉新宇;張會(huì)華
摘要
本發(fā)明提供一種粘接帶粘貼裝置，其中，俯視上述裝置時(shí)，為由橫向長(zhǎng)的矩形部和在該矩形部的中央部連接的突出部構(gòu)成的凸形配置，在該突出部配置有將粘接帶粘貼在環(huán)形框和晶圓上的粘接帶粘貼部，矩形部上配置有對(duì)晶圓(W)、環(huán)形框、對(duì)保持在環(huán)形框上的晶圓進(jìn)行輸送的輸送機(jī)構(gòu)，能將電子基板處理單元連結(jié)在與矩形部鄰接的2個(gè)區(qū)域中的至少一區(qū)域，該2個(gè)領(lǐng)域隔著突出部。

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