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一種自校準(zhǔn)的變面積電容檢測方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN201410292878.7
  • IPC分類號：G01B7/02
  • 申請日期：
    2014-06-26
  • 申請人：
    浙江大學(xué)
著錄項信息
專利名稱一種自校準(zhǔn)的變面積電容檢測方法
申請?zhí)?/td>CN201410292878.7申請日期2014-06-26
法律狀態(tài)授權(quán)申報國家中國
公開/公告日2014-09-10公開/公告號CN104034249A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號G01B7/02IPC分類號G;0;1;B;7;/;0;2查看分類表>
申請人浙江大學(xué)申請人地址
浙江省杭州市西湖區(qū)浙大路38號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人浙江大學(xué)當(dāng)前權(quán)利人浙江大學(xué)
發(fā)明人金仲和;馬威;朱輝杰;劉義冬
代理機構(gòu)杭州求是專利事務(wù)所有限公司代理人張法高
摘要
本發(fā)明公開了一種自校準(zhǔn)的變面積電容檢測方法，該方法包括電容/電壓轉(zhuǎn)換模塊、運動幅度信號提取模塊、運動相位信號提取模塊。本發(fā)明的檢測電容為變面積結(jié)構(gòu)，由矩形電極與三角形電極構(gòu)成，利用檢測電容與運動位移的非線性關(guān)系，由周期時變的檢測電容轉(zhuǎn)換的電壓檢測信號同時包含了1倍頻諧波分量和2倍頻諧波分量，通過兩個諧波分量的相對關(guān)系來表征運動幅度信號和運動相位信號，能夠消除信號處理電路中的增益與相位延遲對電容檢測的影響，即實現(xiàn)了自校準(zhǔn)功能。本發(fā)明原理簡單，實現(xiàn)方便，能應(yīng)用于各類電容式位移檢測的諧振器結(jié)構(gòu)，如微機械陀螺。

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