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機(jī)臺(tái)的調(diào)試方法和機(jī)臺(tái)

發(fā)明專利有效專利
  • 申請(qǐng)?zhí)枺?/span>
    CN201611185945.0
  • IPC分類號(hào)：G03F7/36
  • 申請(qǐng)日期：
    2016-12-20
  • 申請(qǐng)人：
    中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司
著錄項(xiàng)信息
專利名稱機(jī)臺(tái)的調(diào)試方法和機(jī)臺(tái)
申請(qǐng)?zhí)?/td>CN201611185945.0申請(qǐng)日期2016-12-20
法律狀態(tài)授權(quán)申報(bào)國(guó)家中國(guó)
公開/公告日2018-06-26公開/公告號(hào)CN108205244A
優(yōu)先權(quán)暫無(wú)優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無(wú)
主分類號(hào)G03F7/36IPC分類號(hào)G;0;3;F;7;/;3;6查看分類表>
申請(qǐng)人中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司;中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司申請(qǐng)人地址
上海市浦東新區(qū)張江路18號(hào) 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請(qǐng)及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司,中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司當(dāng)前權(quán)利人中芯國(guó)際集成電路制造(上海)有限公司,中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司
發(fā)明人張校平;葉星;代大全
代理機(jī)構(gòu)北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人高靜;吳敏
摘要
一種機(jī)臺(tái)的調(diào)試方法和機(jī)臺(tái)，所述調(diào)試方法包括：提供機(jī)臺(tái)，所述機(jī)臺(tái)工藝腔腔壁上具有金屬網(wǎng)格；采用含N的氧化氣體對(duì)所述金屬網(wǎng)格進(jìn)行鈍化處理，在所述金屬網(wǎng)格表面形成鈍化層。由于所述氧化氣體為含N的氧化氣體，所述氧化氣體的氧化速率較高，能夠有效的提高形成所述鈍化層的效率，縮短調(diào)試時(shí)間，從而有利于提高所述機(jī)臺(tái)的利用率；此外由于所述氧化氣體包含有N，所以所形成鈍化層為含N鈍化層，因此所述鈍化層的致密度較高，阻擋能力較強(qiáng)，能夠有效提高所形成鈍化層的阻擋能力，避免金屬網(wǎng)格內(nèi)部自由電子被激發(fā)，有利于降低自由電子損傷產(chǎn)品的幾率；而且還能夠有效的擴(kuò)大所述機(jī)臺(tái)的適用范圍，有利于提高所述機(jī)臺(tái)的利用率。

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