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測量裝置、光刻系統(tǒng)、以及組件制造方法

發(fā)明專利有效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN202010926990.7
  • IPC分類號(hào)：G03F9/00;G03F7/20;G01B11/14;G01B11/00;H01L21/027
  • 申請日期：
    2016-02-23
  • 申請人：
    株式會(huì)社尼康
著錄項(xiàng)信息
專利名稱測量裝置、光刻系統(tǒng)、以及組件制造方法
申請?zhí)?/td>CN202010926990.7申請日期2016-02-23
法律狀態(tài)實(shí)質(zhì)審查申報(bào)國家中國
公開/公告日2020-12-11公開/公告號(hào)CN112068406A
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號(hào)暫無
主分類號(hào)G03F9/00IPC分類號(hào)G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;1;B;1;1;/;1;4;;;G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分類表>
申請人株式會(huì)社尼康申請人地址
日本東京都 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時(shí)變更，防止失效
權(quán)利人株式會(huì)社尼康當(dāng)前權(quán)利人株式會(huì)社尼康
發(fā)明人柴崎祐一
代理機(jī)構(gòu)北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司代理人暫無
摘要
本發(fā)明的測量裝置(100)，具備平臺(tái)(12)、保持基板(W)能相對平臺(tái)移動(dòng)的滑動(dòng)件(10)、驅(qū)動(dòng)滑動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、測量滑動(dòng)件相對平臺(tái)的第1位置信息的第1位置測量系、具有檢測基板上的標(biāo)記的標(biāo)記檢測系(MDS)的測量單元(40)、測量標(biāo)記檢測系與平臺(tái)的相對的第2位置信息的第2位置測量系、以及一邊控制驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)對滑動(dòng)件的驅(qū)動(dòng)、一邊取得第1位置測量系的第1位置信息及第2位置測量系的第2位置信息、并根據(jù)檢測基板上標(biāo)記的標(biāo)記檢測系的檢測信號(hào)與第1位置信息與第2位置信息求出多個(gè)標(biāo)記的位置信息的控制裝置。

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