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常溫下微波等離子體和激光聯(lián)合處理材料表面的方法

發(fā)明專利無效專利
  • 申請?zhí)枺?/span>
    CN03141802.3
  • IPC分類號：--
  • 申請日期：
    2003-07-24
  • 申請人：
    復(fù)旦大學(xué)
著錄項信息
專利名稱常溫下微波等離子體和激光聯(lián)合處理材料表面的方法
申請?zhí)?/td>CN03141802.3申請日期2003-07-24
法律狀態(tài)駁回申報國家中國
公開/公告日2004-02-11公開/公告號CN1473952
優(yōu)先權(quán)暫無優(yōu)先權(quán)號暫無
主分類號暫無IPC分類號暫無查看分類表>
申請人復(fù)旦大學(xué)申請人地址
上海市邯鄲路220號 變更 專利地址、主體等相關(guān)變化，請及時變更，防止失效
權(quán)利人復(fù)旦大學(xué)當前權(quán)利人復(fù)旦大學(xué)
發(fā)明人吳嘉達;孫劍;凌浩
代理機構(gòu)上海正旦專利代理有限公司代理人姚靜芳;王福新
摘要
本發(fā)明是一種常溫下用微波等離子體和激光束聯(lián)合對材料表面實施改性處理的方法。現(xiàn)有技術(shù)尚未見該類報道。本項發(fā)明的方法是：對特定的工作氣體進行電子回旋共振微波放電產(chǎn)生微波等離子體，將等離子體引入材料處理室，同時將激光束引入材料處理室，微波等離子體和激光束同時作用于材料表面進行等離子體和激光聯(lián)合處理，使表層材料的成分、組織或結(jié)構(gòu)發(fā)生變化，達到改變或改善材料表面性能的目的。本發(fā)明適用范圍廣，參數(shù)調(diào)整方便，等離子體和激光束的種類和參數(shù)可以單獨調(diào)整，還可以對材料表面的特定區(qū)域進行微區(qū)處理。

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